Wafer SiC Silikon Karbida 150mm 6 inci jinis 4H-N kanggo Riset Produksi MOS utawa SBD lan kelas Dummy
Kolom Aplikasi
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci nduweni peran penting ing pirang-pirang industri. Kapisan, iki digunakake sacara wiyar ing industri semikonduktor kanggo nggawe piranti elektronik daya dhuwur kayata transistor daya, sirkuit terpadu, lan modul daya. Konduktivitas termal sing dhuwur lan tahan suhu dhuwur ngidini disipasi panas sing luwih apik, sing nyebabake efisiensi lan keandalan sing luwih apik. Kapindho, wafer silikon karbida penting banget ing bidang riset kanggo pangembangan bahan lan piranti anyar. Kajaba iku, wafer silikon karbida nemokake aplikasi sing ekstensif ing bidang optoelektronik, kalebu manufaktur LED lan dioda laser.
Spesifikasi Produk
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci iki duwé diameter 6 inci (kurang luwih 152,4 mm). Kekasaran permukaané yaiku Ra < 0,5 nm, lan kekandelané 600 ± 25 μm. Substrat iki bisa disesuaikan karo konduktivitas tipe-N utawa tipe-P, adhedhasar kabutuhan pelanggan. Kajaba iku, substrat iki nduwèni stabilitas mekanik sing luar biasa, mampu nahan tekanan lan getaran.
| Diameter | 150±2.0mm（6 inci） | ||||
| Kekandelan | 350 μm±25 μm | ||||
| Orientasi | Ing sumbu: <0001>±0.5° | Metu saka sumbu：4.0° menyang 1120±0.5° | |||
| Politipe | 4H | ||||
| Resistivitas (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| Orientasi datar utama | {10-10}±5.0° | ||||
| Dawane rata utama (mm) | 47,5 mm ± 2,5 mm | ||||
| Pinggir | Talang | ||||
| TTV/Busur/Lungun (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| AFM Ngarep (Si-face) | Polandia Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.5 nm | |||||
| LTV | ≤3μm (10mm * 10mm) | ≤5μm (10mm * 10mm) | ≤10μm (10mm * 10mm) | ||
| TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
| Kulit jeruk/bolongan/retak/kontaminasi/noda/garis-garis | Ora ana | Ora ana | Ora ana | ||
| indentasi | Ora ana | Ora ana | Ora ana | ||
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci iki minangka bahan kinerja dhuwur sing digunakake sacara wiyar ing industri semikonduktor, riset, lan optoelektronik. Bahan iki nawakake konduktivitas termal sing apik banget, stabilitas mekanik, lan tahan suhu dhuwur, saengga cocog kanggo fabrikasi piranti elektronik daya dhuwur lan riset materi anyar. Kita nyedhiyakake macem-macem spesifikasi lan pilihan kustomisasi kanggo nyukupi macem-macem panjaluk pelanggan.Hubungi kita kanggo rincian luwih lengkap babagan wafer silikon karbida!
Diagram Rinci
