6inch 150mm Silicon Carbide SiC Wafers 4H-N tipe kanggo MOS utawa SBD Produksi Riset lan Dummy kelas
Bidang Aplikasi
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci nduweni peran penting ing pirang-pirang industri. Kaping pisanan, digunakake ing industri semikonduktor kanggo nggawe piranti elektronik kanthi daya dhuwur kayata transistor daya, sirkuit terpadu, lan modul daya. Konduktivitas termal sing dhuwur lan resistensi suhu sing dhuwur ndadekake panyebaran panas sing luwih apik, sing nyebabake efisiensi lan linuwih. Kapindho, wafer silikon karbida penting ing lapangan riset kanggo pangembangan bahan lan piranti anyar. Kajaba iku, wafer silikon karbida nemokake aplikasi ekstensif ing bidang optoelektronik, kalebu manufaktur LED lan dioda laser.
Spesifikasi Produk
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci kanthi diameter 6 inci (kira-kira 152,4 mm). Kekasaran permukaan yaiku Ra <0,5 nm, lan kekandelan 600 ± 25 μm. Substrat bisa disesuaikan karo konduktivitas N-jinis utawa P-jinis, adhedhasar syarat pelanggan. Kajaba iku, nduweni stabilitas mekanik sing luar biasa, bisa nahan tekanan lan geter.
Dhiameter | 150±2.0mm(6 inci) | ||||
kekandelan | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientasi | Ing sumbu: <0001> ± 0,5 ° | Sumbu mati: 4,0 ° menyang 1120 ± 0,5 ° | |||
Polytype | 4H | ||||
Resistivitas (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
4/6H-SI | > 1E5 | ||||
Orientasi flat utama | {10-10}±5.0° | ||||
dawa rata utama (mm) | 47,5 mm ± 2,5 mm | ||||
Pinggir | Chamfer | ||||
TTV/Bow/Warp (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
Ngarep AFM (Si-wajah) | Polandia Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.5 nm | |||||
LTV | ≤3μm (10mm * 10mm) | ≤5μm (10mm * 10mm) | ≤10μm (10mm * 10mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Kulit jeruk / pit / retak / kontaminasi / noda / striations | ora ana | ora ana | ora ana | ||
indentasi | ora ana | ora ana | ora ana |
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci minangka bahan kinerja dhuwur sing digunakake ing industri semikonduktor, riset, lan optoelektronik. Nawakake konduktivitas termal sing apik, stabilitas mekanik, lan resistensi suhu dhuwur, saengga cocog kanggo nggawe piranti elektronik daya dhuwur lan riset materi anyar. Kita nyedhiyakake macem-macem spesifikasi lan opsi kustomisasi kanggo nyukupi panjaluk pelanggan sing beda-beda.Hubungi kita kanggo rincian liyane babagan wafer silikon karbida!