Sistem Orientasi Wafer kanggo Pengukuran Orientasi Kristal
Pengenalan peralatan
Instrumen orientasi wafer minangka piranti presisi adhedhasar prinsip difraksi sinar-X (XRD), utamane digunakake ing manufaktur semikonduktor, bahan optik, keramik, lan industri bahan kristal liyane.
Instrumen kasebut nemtokake orientasi kisi kristal lan nuntun proses pemotongan utawa polishing sing tepat. Fitur utama kalebu:
- Pangukuran tliti dhuwur:Bisa ngrampungake bidang kristalografi kanthi resolusi sudut nganti 0,001°.
- Kompatibilitas sampel gedhe:Ndhukung wafer nganti diameter 450 mm lan bobote 30 kg, cocok kanggo bahan kaya silikon karbida (SiC), safir, lan silikon (Si).
- Desain modular:Fungsi sing bisa ditambahi kalebu analisis kurva goyang, pemetaan cacat permukaan 3D, lan piranti numpuk kanggo pangolahan multi-sampel.
Parameter Teknis Utama
| Kategori Parameter | Nilai / Konfigurasi Khas |
| Sumber X-ray | Cu-Kα (titik fokus 0,4×1 mm), voltase akselerasi 30 kV, arus tabung 0–5 mA sing bisa diatur |
| Range Sudut | θ: -10° nganti +50°; 2θ: -10° nganti +100° |
| Akurasi | Resolusi sudut miring: 0.001°, deteksi cacat permukaan: ±30 detik busur (kurva goyang) |
| Kacepetan Scanning | Pindai Omega ngrampungake orientasi kisi lengkap sajrone 5 detik; Theta scan njupuk ~1 menit |
| Tahap Sampel | V-groove, sedot pneumatik, rotasi multi-sudut, kompatibel karo wafer 2-8 inci |
| Fungsi Expandable | Analisis kurva goyang, pemetaan 3D, piranti tumpukan, deteksi cacat optik (goresan, GB) |
Prinsip Kerja
1. Yayasan Difraksi Sinar-X
- Sinar-X berinteraksi karo inti atom lan elektron ing kisi kristal, ngasilake pola difraksi. Hukum Bragg (nλ = 2d sinθ) ngatur hubungan antara sudut difraksi (θ) lan jarak kisi (d).
Detektor njupuk pola kasebut, sing dianalisis kanggo mbangun maneh struktur kristalografi.
2. Teknologi Omega Scanning
- Kristal muter terus-terusan ngubengi sumbu tetep nalika sinar-X madhangi.
- Detektor nglumpukake sinyal difraksi ing pirang-pirang bidang kristalografi, supaya bisa nemtokake orientasi kisi kanthi lengkap sajrone 5 detik.
3. Analisis Kurva Goyang
- Sudut kristal tetep kanthi sudut insiden sinar-X sing beda-beda kanggo ngukur lebar puncak (FWHM), ngevaluasi cacat lan galur kisi.
4. Kontrol otomatis
- Antarmuka PLC lan layar demek mbisakake sudut pemotongan prasetel, umpan balik wektu nyata, lan integrasi karo mesin pemotong kanggo kontrol loop tertutup.
Kaluwihan lan Fitur
1. Presisi lan Efisiensi
- Akurasi sudut ± 0,001 °, resolusi deteksi cacat <30 detik busur.
- Kacepetan pindai Omega 200x luwih cepet tinimbang pindai Theta tradisional.
2. Modularitas lan Skalabilitas
- Bisa ditambahake kanggo aplikasi khusus (contone, wafer SiC, bilah turbin).
- Integrasi karo sistem MES kanggo ngawasi produksi wektu nyata.
3. Kompatibilitas lan Stabilitas
- Nampung conto sing bentuke ora teratur (contone, ingot safir retak).
- Desain sing digawe adhem hawa nyuda kabutuhan pangopènan.
4. Operasi cerdas
- Kalibrasi siji-klik lan pangolahan multi-tugas.
- Kalibrasi otomatis kanthi kristal referensi kanggo nyilikake kesalahan manungsa.
Aplikasi
1. Produksi Semikonduktor
- Orientasi wafer dicing: Nemtokake orientasi wafer Si, SiC, GaN kanggo efisiensi pemotongan sing dioptimalake.
- Pemetaan cacat: Ngenali goresan permukaan utawa dislokasi kanggo nambah asil chip.
2. Bahan Optik
- Kristal nonlinier (contone, LBO, BBO) kanggo piranti laser.
- Tandha lumahing referensi wafer sapir kanggo substrat LED.
3. Keramik lan Komposit
- Nganalisa orientasi gandum ing Si3N4 lan ZrO2 kanggo aplikasi suhu dhuwur.
4. Riset lan Kontrol Kualitas
- Universitas/lab kanggo pangembangan materi anyar (contone, paduan entropi dhuwur).
- QC industri kanggo njamin konsistensi batch.
Layanan XKH
XKH nawakake dhukungan teknis siklus urip lengkap kanggo instrumen orientasi wafer, kalebu instalasi, optimasi parameter proses, analisis kurva goyang, lan pemetaan cacat permukaan 3D. Solusi sing disesuaikan (contone, teknologi tumpukan ingot) diwenehake kanggo ningkatake efisiensi produksi bahan semikonduktor lan optik luwih saka 30%. Tim khusus nganakake latihan ing situs, dene dhukungan remot 24/7 lan panggantos spare part kanthi cepet njamin linuwih peralatan.
