6inci HPSI SiC substrat wafer Silicon Carbide Semi-insulting SiC wafer

6inch HPSI SiC substrat wafer Silicon Carbide Semi-insulting SiC wafer Gambar Unggulan

Katrangan singkat:

Wafer SiC kristal tunggal berkualitas tinggi (Silicon Carbide saka SICC) kanggo industri elektronik lan optoelektronik.Wafer SiC 3inch minangka bahan semikonduktor generasi sabanjure, wafer silikon-karbida semi-insulasi kanthi diameter 3 inci.Wafer dimaksudake kanggo nggawe piranti daya, RF lan optoelektronik.

Kirimi email kanggo kita

Detail Produk

Tag produk

Teknologi Pertumbuhan SiC Kristal Silikon Karbida PVT

Cara pertumbuhan saiki kanggo kristal tunggal SiC utamane kalebu telung ing ngisor iki: metode fase cair, metode deposisi uap kimia suhu dhuwur, lan metode transportasi fase uap fisik (PVT).Ing antarane, metode PVT minangka teknologi sing paling diteliti lan diwasa kanggo pertumbuhan kristal tunggal SiC, lan kesulitan teknis yaiku:

(1) SiC kristal siji ing suhu dhuwur saka 2300 ° C ndhuwur kamar grafit ditutup kanggo ngrampungake "padhet - gas - ngalangi" proses recrystallization konversi, siklus wutah dawa, angel kanggo kontrol, lan rawan kanggo microtubules, inclusions lan cacat liyane.

(2) Silicon carbide kristal siji, kalebu luwih saka 200 macem-macem jinis kristal, nanging produksi umum mung siji jinis kristal, gampang kanggo gawé transformasi jinis kristal ing proses wutah asil ing multi-jinis inclusions cacat, proses preparation saka siji. jinis kristal tartamtu angel kanggo ngontrol stabilitas proses, contone, arus utama 4H-jinis.

(3) Silicon carbide wutah kristal siji lapangan termal ana gradien suhu, asil ing proses wutah kristal ana kaku internal native lan asil dislocations, bentet lan cacat liyane mlebu.

(4) Silicon carbide proses wutah kristal siji perlu kanggo strictly ngontrol introduksi saka impurities external, supaya minangka kanggo njupuk kemurnian dhuwur banget kristal semi-insulating utawa directionally doped kristal konduktif.Kanggo substrat karbida silikon semi-insulasi sing digunakake ing piranti RF, sifat listrik kudu digayuh kanthi ngontrol konsentrasi impurity sing sithik lan jinis cacat titik tartamtu ing kristal.