Tahap Bantalan Udara SiC Ultra-Presisi

Katrangan Cekak:

Kanthi evolusi industri semikonduktor sing terus-terusan, peralatan pangolahan lan inspeksi nuntut kinerja sing luwih dhuwur. Kanthi keahlian sing ekstensif ing kontrol gerakan lan posisi tingkat nanometer, kita wis ngembangake tahap bantalan udara ultra-presisi sumbu ganda tipe H planar.

Kirim email menyang kita

Fitur-fitur

Diagram Rinci

Ringkesan

Dirancang nganggo struktur keramik silikon karbida (SiC) sing dioptimalake unsur terbatas lan teknologi bantalan udara sing dikompensasi, panggung iki menehi akurasi, kekakuan, lan respon dinamis sing luar biasa. Panggung iki cocog banget kanggo:

Pamrosesan lan inspeksi semikonduktor
Fabrikasi mikro/nano lan metrologi
Pemotongan lan polesan lalat skala nanometer
Pemindaian presisi kecepatan tinggi

Fitur Utama

Pandhuan bantalan udara SiCkanggo kekakuan lan presisi sing dhuwur banget
Dinamika dhuwur: kecepatan nganti 1 m/s, akselerasi nganti 4 g, pengendapan cepet
Sumbu Y gantry dual-drivenjamin kapasitas beban sing dhuwur lan stabilitas
Pilihan encoder: kisi optik utawa interferometer laser
Akurasi posisi: ±0,15 µm;kemampuan kanggo mbaleni: ±75 nm
Routing kabel sing dioptimalakekanggo desain sing resik lan linuwih jangka panjang
Konfigurasi sing bisa disesuaikankanggo kabutuhan khusus aplikasi

Desain Ultra-Presisi & Arsitektur Direct-Drive, Non-Kontak

Rangka Keramik SiC: ~5× kekakuan paduan aluminium lan ~5× ekspansi termal sing luwih murah, njamin stabilitas kecepatan tinggi lan kekokohan termal.
Bantalan Udara KompensasiDesain khusus nambah kekakuan, kapasitas beban, lan stabilitas gerakan.
Kinerja DinamisNdhukung kecepatan 1 m/s lan akselerasi 4 g, cocog kanggo proses throughput dhuwur.
Integrasi sing MulusKompatibel karo sistem isolasi getaran, tahapan putar, modul miring, lan platform penanganan wafer.
Manajemen KabelRadius lentur sing dikontrol nyuda stres kanggo umur layanan sing luwih dawa.

Motor Linear Tanpa Inti: Gerakan alus tanpa gaya cogging.
Penggerak Multi-MotorPenempatan motor bidang beban ningkatake kelurusan, kerataan, lan presisi sudut.
Isolasi TermalMotor diisolasi saka struktur panggung; pendinginan udara utawa banyu opsional kanggo siklus tugas dhuwur.

Spesifikasi

Model	400-400	500-500	600-600
Sumbu	X (pindai) / Y (langkah)	X (pindai) / Y (langkah)	X (pindai) / Y (langkah)
Lelungan (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Akurasi (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
Kemampuan kanggo mbaleni (nm)	±75	±100	±100
Resolusi (nm)	0.3	0.3	0.3
Kacepetan Maks (m/s)	1	1	1
Akselerasi (g)	4	4	4
Kelurusan (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
Stabilitas (nm)	±5	±5	±5
Beban Maks. (kg)	20	20	20
Pitch/Roll/Yaw (arc-sec)	±1	±1	±1

Kahanan Tes:

Pasokan udara: resik, garing; titik embun ≤ 0°F; filtrasi partikel ≤ 0,25 μm; utawa 99,99% nitrogen.
Akurasi diukur 25 mm ing ndhuwur pusat panggung ing 20±1 °C, 40–60% RH.

Aplikasi

Litografi semikonduktor, inspeksi, lan penanganan wafer
Fabrikasi mikro/nano lan metrologi presisi
Manufaktur optik kelas atas lan interferometri
Antariksa lan riset ilmiah canggih

FAQ – Tahap Bantalan Udara Silikon Karbida

1. Apa sing diarani panggung mawa udara?

Panggung sing nggawa udara nggunakake lapisan tipis udara bertekanan antarane panggung lan jalur pandhuan kanggo nyedhiyakaketanpa gesekan, bebas aus, lan gerakan sing alus bangetOra kaya bantalan mekanik konvensional, bantalan iki ora gampang licin, menehi akurasi tingkat nanometer, lan ndhukung keandalan jangka panjang.

2. Apa sebabé kok nganggo silikon karbida (SiC) kanggo struktur panggung?

Kekakuan dhuwur~5× saka paduan aluminium, nyuda deformasi sajrone gerakan dinamis.
Ekspansi termal sing endhek~5× luwih endhek tinimbang aluminium, njaga akurasi ing variasi suhu.
enthengKapadhetan sing luwih endhek dibandhingake karo baja, saengga bisa operasi kanthi kecepatan dhuwur lan akselerasi dhuwur.
Stabilitas sing apik bangetRedaman lan kaku sing unggul kanggo posisi sing ultra-presisi.

3. Apa panggung kasebut mbutuhake pelumasan utawa perawatan?

Ora perlu pelumasan tradisional amarga anaora ana kontak mekanikPangopènan sing disaranake kalebu:

Nyedhiyakakeudara kompres sing resik lan garing utawa nitrogen
Inspeksi filter lan pengering kanthi periodik
Kabel pemantauan lan sistem pendinginan

4. Apa syarat-syarat pasokan udara?

Titik embun: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Filtrasi partikel: ≤ 0,25 μm
Udara resik lan garing utawa nitrogen murni 99,99%
Tekanan stabil kanthi fluktuasi minimal

Babagan Kita

XKH spesialisasi ing pangembangan teknologi tinggi, produksi, lan dodolan kaca optik khusus lan bahan kristal anyar. Produk kita nyedhiyakake elektronik optik, elektronik konsumen, lan militer. Kita nawakake komponen optik Safir, tutup lensa ponsel, Keramik, LT, Silicon Carbide SIC, Kuarsa, lan wafer kristal semikonduktor. Kanthi keahlian sing trampil lan peralatan canggih, kita unggul ing pangolahan produk non-standar, kanthi tujuan dadi perusahaan teknologi tinggi bahan optoelektronik sing unggul.