TGV Kaca substrat 12 inch wafer Kaca punching
Substrat kaca nindakake luwih apik babagan sifat termal, stabilitas fisik, lan luwih tahan panas lan kurang rentan kanggo masalah warping utawa deformasi amarga suhu dhuwur;
Kajaba iku, sifat listrik unik saka inti kaca ngidini mundhut dielektrik sing luwih murah, ngidini sinyal lan transmisi daya sing luwih jelas. Akibaté, mundhut daya sak transmisi sinyal suda lan efisiensi sakabèhé saka chip alami ndongkrak. Kekandelan saka landasan inti kaca bisa suda dening bab setengah dibandhingake plastik ABF, lan thinning mbenakake kacepetan transmisi sinyal lan efficiency daya.
Hole forming teknologi TGV:
Cara etsa sing diakibatake laser digunakake kanggo ngindhuksi zona denaturasi sing terus-terusan liwat laser pulsed, banjur kaca sing diobati laser dilebokake ing larutan asam hidrofluorat kanggo etsa. Tingkat etsa kaca zona denaturasi ing asam hidrofluorat luwih cepet tinimbang kaca sing ora didenaturasi kanggo mbentuk liwat bolongan.
Isi TGV:
Kaping pisanan, bolongan wuta TGV digawe. Kapindho, lapisan wiji disimpen ing bolongan buta TGV kanthi deposisi uap fisik (PVD). Katelu, electroplating ngisor munggah entuk ngisi TGV sing lancar; Akhire, liwat iketan sauntara, bali mecah, kimia mechanical polishing (CMP) cahya tembaga, unbonding, mbentuk TGV logam-nepsu transfer plate.