Baki pengisap keramik silikon karbida Tabung keramik silikon karbida nyedhiyakake pangolahan khusus sintering suhu dhuwur
Fitur utama:
1. Baki keramik silikon karbida
- Kekerasan lan tahan aus sing dhuwur: kekerasane cedhak karo berlian, lan bisa tahan aus mekanik ing proses wafer sajrone wektu sing suwe.
- Konduktivitas termal sing dhuwur lan koefisien ekspansi termal sing endhek: disipasi panas sing cepet lan stabilitas dimensi, ngindhari deformasi sing disebabake dening stres termal.
- Kerataan lan polesan permukaan sing dhuwur: Kerataan permukaan nganti tingkat mikron, njamin kontak lengkap antarane wafer lan disk, nyuda kontaminasi lan kerusakan.
Stabilitas kimia: Tahan korosi sing kuwat, cocok kanggo proses pembersihan basah lan etsa ing manufaktur semikonduktor.
2. Tabung keramik silikon karbida
- Tahan suhu dhuwur: Bisa digunakake ing lingkungan suhu dhuwur ing ndhuwur 1600°C sajrone wektu sing suwe, cocok kanggo proses semikonduktor suhu dhuwur.
Ketahanan korosi sing apik banget: tahan marang asam, alkali lan macem-macem pelarut kimia, cocok kanggo lingkungan proses sing atos.
- Kekerasan lan tahan aus sing dhuwur: tahan erosi partikel lan aus mekanik, ngluwihi umur layanan.
- Konduktivitas termal sing dhuwur lan koefisien ekspansi termal sing endhek: konduksi panas sing cepet lan stabilitas dimensi, nyuda deformasi utawa retak sing disebabake dening stres termal.
Parameter Produk：
Parameter baki keramik silikon karbida:
| (Sipat materi) | (Unit) | (ssic) | |
| (Kandungan SiC) | (Wt)% | >99 | |
| (Ukuran butir rata-rata) | mikron | 4-10 | |
| (Kapadhetan) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Porositas sing katon) | Vo1% | <0.5 | |
| (kekerasan Vickers) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *() Kekuwatan lentur* (telu poin) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Kekuwatan kompresi) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Modulus Elastis) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Ketangguhan patah tulang) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Konduktivitas termal) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Resistivitas) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Koefisien ekspansi termal) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Suhu operasi maksimal) | oºC | 1700 | |
Parameter tabung keramik silikon karbida:
| Barang-barang | Indeks |
| α-SIC | 99% menit |
| Porositas sing Katon | maksimal 16% |
| Kapadhetan Massal | 2.7g/cm3 menit |
| Kekuwatan Lentur ing Suhu Dhuwur | 100 Mpa min |
| Koefisien Ekspansi Termal | K-1 4.7x10 -6 |
| Koefisien Konduktivitas Termal (1400ºC) | 24 W/mk |
| Suhu Kerja Maks. | 1650ºC |
Aplikasi utama:
1. Pelat keramik silikon karbida
- Pemotongan lan pemolesan wafer: dadi platform bantalan kanggo njamin presisi lan stabilitas sing dhuwur sajrone pemotongan lan pemolesan.
- Proses litografi: Wafer dipasang ing mesin litografi kanggo njamin posisi sing presisi dhuwur sajrone paparan.
- Pemolesan Mekanik Kimia (CMP): tumindak minangka platform dhukungan kanggo bantalan pemoles, nyedhiyakake tekanan lan distribusi panas sing seragam.
2. Tabung keramik silikon karbida
- Tabung tungku suhu dhuwur: digunakake kanggo peralatan suhu dhuwur kayata tungku difusi lan tungku oksidasi kanggo nggawa wafer kanggo perawatan proses suhu dhuwur.
- Proses CVD/PVD: Minangka tabung bantalan ing ruang reaksi, tahan suhu dhuwur lan gas korosif.
- Aksesoris peralatan semikonduktor: kanggo penukar panas, pipa gas, lan liya-liyane, kanggo ningkatake efisiensi manajemen termal peralatan.
XKH nawakake macem-macem layanan khusus kanggo tray keramik silikon karbida, cangkir sedot, lan tabung keramik silikon karbida. Tray keramik silikon karbida lan cangkir sedot, XKH bisa disesuaikan miturut kabutuhan pelanggan kanthi macem-macem ukuran, bentuk, lan kekasaran permukaan, lan ndhukung perawatan lapisan khusus, nambah resistensi aus lan tahan korosi; Kanggo tabung keramik silikon karbida, XKH bisa menyesuaikan macem-macem diameter njero, diameter njaba, dawa, lan struktur kompleks (kayata tabung sing dibentuk utawa tabung keropos), lan nyedhiyakake polesan, lapisan anti-oksidasi, lan proses perawatan permukaan liyane. XKH njamin manawa para pelanggan bisa njupuk kauntungan saka keuntungan kinerja produk keramik silikon karbida kanggo nyukupi syarat-syarat sing nuntut saka bidang manufaktur kelas atas kayata semikonduktor, LED, lan fotovoltaik.
Diagram Rinci
