Baki Keramik SiC kanggo Wafer Carrier kanthi Tahan Suhu Tinggi
Baki Keramik Silikon Karbida (Baki SiC)
Komponen keramik kinerja dhuwur adhedhasar bahan silikon karbida (SiC), direkayasa kanggo aplikasi industri canggih kayata manufaktur semikonduktor lan produksi LED. Fungsi intine kalebu dadi pembawa wafer, platform proses etsa, utawa dhukungan proses suhu dhuwur, nggunakake konduktivitas termal sing luar biasa, tahan suhu dhuwur, lan stabilitas kimia kanggo njamin keseragaman proses lan asil produk.
Fitur Utama
1. Kinerja Termal
- Konduktivitas Termal Dhuwur: 140–300 W/m·K, ngluwihi grafit tradisional (85 W/m·K) kanthi signifikan, saéngga bisa mbuwang panas kanthi cepet lan nyuda stres termal.
- Koefisien Ekspansi Termal Rendah: 4.0×10⁻⁶/℃ (25–1000℃), silikon sing meh padha (2.6×10⁻⁶/℃), nyuda risiko deformasi termal.
2. Sifat Mekanik
- Kekuwatan Dhuwur: Kekuwatan lentur ≥320 MPa (20℃), tahan kompresi lan benturan.
- Kekerasan Dhuwur: Kekerasan Mohs 9.5, nomer loro sawise berlian, nawakake ketahanan aus sing unggul.
3. Stabilitas Kimia
- Tahan Korosi: Tahan marang asam kuwat (kayata, HF, H₂SO₄), cocok kanggo lingkungan proses etsa.
- Non-Magnetik: Suseptibilitas magnetik intrinsik <1×10⁻⁶ emu/g, ngindhari gangguan karo instrumen presisi.
4. Toleransi Lingkungan Ekstrem
- Ketahanan Suhu Dhuwur: Suhu operasional jangka panjang nganti 1600–1900℃; resistensi jangka pendek nganti 2200℃ (lingkungan bebas oksigen).
- Tahan Kejutan Termal: Tahan owah-owahan suhu sing dadakan (ΔT >1000℃) tanpa retak.
Aplikasi
| Bidang Aplikasi | Skenario Khusus | Nilai Teknis |
| Manufaktur Semikonduktor | Pengetsaan wafer (ICP), deposisi film tipis (MOCVD), pemolesan CMP | Konduktivitas termal sing dhuwur njamin medan suhu sing seragam; ekspansi termal sing endhek nyuda warpage wafer. |
| Produksi LED | Pertumbuhan epitaksial (contone, GaN), pemotongan wafer, pengemasan | Nyegah cacat multi-tipe, nambah efisiensi cahya lan umur LED. |
| Industri Fotovoltaik | Tungku sintering wafer silikon, dhukungan peralatan PECVD | Tahan suhu dhuwur lan kejut termal ndawakake umur peralatan. |
| Laser & Optik | Substrat pendingin laser daya dhuwur, dhukungan sistem optik | Konduktivitas termal sing dhuwur nggampangake disipasi panas kanthi cepet, saengga nyetabilake komponen optik. |
| Instrumen Analitik | Wadhah sampel TGA/DSC | Kapasitas panas sing endhek lan respon termal sing cepet ningkatake akurasi pangukuran. |
Kauntungan Produk
- Kinerja Komprehensif: Konduktivitas termal, kekuatan, lan tahan korosi ngluwihi keramik alumina lan silikon nitrida, nyukupi tuntutan operasional sing ekstrem.
- Desain Entheng: Kapadhetan 3,1–3,2 g/cm³ (40% baja), ngurangi beban inersia lan ningkatake presisi gerakan.
- Umur dawa & Keandalan: Umur layanan ngluwihi 5 taun ing suhu 1600℃, nyuda downtime lan nyuda biaya operasional nganti 30%.
- Kustomisasi: Ndhukung geometri sing kompleks (kayata, cangkir sedotan berpori, baki multi-lapisan) kanthi kesalahan kerataan <15 μm kanggo aplikasi presisi.
Spesifikasi Teknis
| Kategori Parameter | Indikator |
| Sifat Fisik | |
| Kapadhetan | ≥3,10 g/cm³ |
| Kekuwatan Lentur (20℃) | 320–410 MPa |
| Konduktivitas Termal (20℃) | 140–300 W/(m·K) |
| Koefisien Ekspansi Termal (25–1000 ℃) | 4.0×10⁻⁶/℃ |
| Sifat Kimia | |
| Tahan Asam (HF/H₂SO₄) | Ora ana korosi sawise direndhem 24 jam |
| Presisi Mesin | |
| Kerataan | ≤15 μm (300×300 mm) |
| Kekasaran Permukaan (Ra) | ≤0,4 μm |
Layanan XKH
XKH nyedhiyakake solusi industri sing komprehensif sing nyakup pangembangan khusus, mesin presisi, lan kontrol kualitas sing ketat. Kanggo pangembangan khusus, XKH nawakake solusi bahan kanthi kemurnian tinggi (>99,999%) lan keropos (30-50% porositas), dipasangake karo pemodelan 3D lan simulasi kanggo ngoptimalake geometri kompleks kanggo aplikasi kaya semikonduktor lan aerospace. Mesin presisi ngetutake proses sing efisien: pangolahan bubuk → isostatik/pengepresan garing → sintering 2200°C → CNC/penggilingan berlian → inspeksi, njamin pemolesan tingkat nanometer lan toleransi dimensi ±0,01 mm. Kontrol kualitas kalebu pengujian proses lengkap (komposisi XRD, mikrostruktur SEM, lenturan 3 titik) lan dhukungan teknis (optimasi proses, konsultasi 24/7, pangiriman sampel 48 jam), ngirim komponen kinerja tinggi sing bisa dipercaya kanggo kabutuhan industri canggih.
Pitakonan sing Kerep Ditakoni (FAQ)
1. P: Industri apa sing nggunakake tray keramik silikon karbida?
A: Digunakake sacara wiyar ing manufaktur semikonduktor (penanganan wafer), energi surya (proses PECVD), peralatan medis (komponen MRI), lan aerospace (bagian suhu dhuwur) amarga tahan panas lan stabilitas kimia sing ekstrem.
2. P: Kepiye silikon karbida ngluwihi tray kuarsa/kaca?
A: Resistensi kejut termal sing luwih dhuwur (nganti 1800°C vs. kuarsa 1100°C), nol gangguan magnetik, lan umur sing luwih dawa (5+ taun vs. kuarsa 6-12 sasi).
3. P: Apa tray silikon karbida bisa tahan karo lingkungan asam?
A: Inggih. Tahan marang HF, H2SO4, lan NaOH kanthi korosi <0,01mm/taun, saengga cocog kanggo etsa kimia lan reresik wafer.
4. P: Apa tray silikon karbida kompatibel karo otomatisasi?
A: Inggih. Dirancang kanggo njupuk vakum lan penanganan robot, kanthi kerataan permukaan <0,01mm kanggo nyegah kontaminasi partikel ing pabrik otomatis.
5. P: Piye perbandingan biayane karo bahan tradisional?
A: Biaya awal sing luwih dhuwur (3-5x kuarsa) nanging TCO 30-50% luwih murah amarga umur sing luwih dawa, downtime sing luwih murah, lan penghematan energi saka konduktivitas termal sing unggul.
