Tray Keramik SiC kanggo Wafer Carrier kanthi Tahan Suhu Dhuwur
Baki Keramik Silikon Karbida (SiC Tray).
Komponen keramik kanthi kinerja dhuwur adhedhasar bahan silikon karbida (SiC), direkayasa kanggo aplikasi industri maju kayata manufaktur semikonduktor lan produksi LED. Fungsi inti kalebu minangka operator wafer, platform proses etsa, utawa dhukungan proses suhu dhuwur, nggunakake konduktivitas termal sing luar biasa, tahan suhu dhuwur, lan stabilitas kimia kanggo njamin keseragaman proses lan ngasilake produk.
Fitur Utama
1. Kinerja termal
- Konduktivitas Thermal Dhuwur: 140–300 W/m·K, ngluwihi grafit tradisional (85 W/m·K), saéngga pambuangan panas kanthi cepet lan ngurangi stres termal.
- Koefisien Ekspansi Termal Sedheng: 4.0×10⁻⁶/℃ (25–1000℃), silikon sing cocog (2.6×10⁻⁶/℃), minimalake resiko deformasi termal.
2. Sifat Mekanik
- Kekuwatan Dhuwur: Kekuwatan lentur ≥320 MPa (20 ℃), tahan kanggo kompresi lan impact.
- Kekerasan Dhuwur: Kekerasan Mohs 9.5, mung nomer loro tinimbang berlian, menehi resistensi nyandhang sing unggul.
3. Stabilitas Kimia
- Ketahanan Korosi: Tahan kanggo asam kuwat (contone, HF, H₂SO₄), cocok kanggo lingkungan proses etsa.
- Non-Magnetik: Kerentanan magnetik intrinsik <1×10⁻⁶ emu/g, ngindhari gangguan karo instrumen presisi.
4. Toleransi Lingkungan Ekstrem
- Kekiatan Suhu Dhuwur: Suhu operasional jangka panjang nganti 1600-1900 ℃; resistance short-term nganti 2200 ℃ (lingkungan bebas oksigen).
- Ketahanan Kejut Termal: Tahan owah-owahan suhu sing tiba-tiba (ΔT>1000 ℃) tanpa retak.
Aplikasi
| Lapangan Aplikasi | Skenario Spesifik | Nilai Teknis |
| Produksi Semikonduktor | Wafer etching (ICP), thin-film deposition (MOCVD), CMP polishing | Konduktivitas termal sing dhuwur njamin lapangan suhu seragam; expansion termal kurang minimalake wafer warpage. |
| Produksi LED | Epitaxial growth (eg, GaN), wafer dicing, packaging | Ngilangi cacat multi-jinis, nambah efisiensi lan umur cahya LED. |
| Industri Photovoltaic | Tungku sintering wafer silikon, peralatan PECVD ndhukung | Suhu dhuwur lan tahan kejut termal ngluwihi umur peralatan. |
| Laser & Optik | Substrat pendinginan laser daya dhuwur, ndhukung sistem optik | Konduktivitas termal sing dhuwur mbisakake boros panas kanthi cepet, stabilake komponen optik. |
| Instrumen Analitik | TGA/DSC sampel nduwèni | Kapasitas panas sing sithik lan respon termal sing cepet nambah akurasi pangukuran. |
Keuntungan Produk
- Kinerja Komprehensif: Konduktivitas termal, kekuatan, lan tahan karat ngluwihi alumina lan keramik nitrida silikon, nyukupi panjaluk operasional sing ekstrem.
- Desain Ringan: Kapadhetan 3.1–3.2 g/cm³ (40% baja), nyuda beban inersia lan nambah presisi gerakan.
- Umur dawa & Reliabilitas: Urip layanan ngluwihi 5 taun ing 1600 ℃, nyuda downtime lan nyuda biaya operasional nganti 30%.
- Kustomisasi: Ndhukung geometri kompleks (contone, cangkir nyedhot keropos, tray multi-lapisan) kanthi kesalahan flatness <15 μm kanggo aplikasi presisi.
Spesifikasi Teknis
| Kategori Parameter | Indikator |
| Sifat Fisik | |
| Kapadhetan | ≥3,10 g/cm³ |
| Kekuwatan lentur (20 ℃) | 320–410 MPa |
| Konduktivitas termal (20 ℃) | 140–300 W/(m·K) |
| Koefisien Ekspansi Termal (25–1000 ℃) | 4.0×10⁻⁶/℃ |
| Sifat-sifat kimia | |
| Tahan Asam (HF/H₂SO₄) | Ora karat sawise 24h kecemplung |
| Presisi Mesin | |
| Flatness | ≤15 μm (300×300 mm) |
| Kekasaran permukaan (Ra) | ≤0,4 μm |
Layanan XKH
XKH nyedhiyakake solusi industri lengkap babagan pangembangan khusus, mesin presisi, lan kontrol kualitas sing ketat. Kanggo pangembangan khusus, nawakake solusi materi kemurnian dhuwur (>99.999%) lan keropos (30-50% porositas), dipasangake karo model lan simulasi 3D kanggo ngoptimalake geometri kompleks kanggo aplikasi kaya semikonduktor lan aerospace. Mesin presisi ngetutake proses sing ramping: pangolahan bubuk → tekanan isostatik / garing → sintering 2200 ° C → grinding CNC / berlian → inspeksi, njamin polishing tingkat nanometer lan toleransi dimensi ± 0,01 mm. Kontrol kualitas kalebu tes proses lengkap (komposisi XRD, struktur mikro SEM, 3-titik mlengkung) lan dhukungan teknis (optimasi proses, konsultasi 24/7, pangiriman sampel 48 jam), ngirim komponen sing dipercaya lan kinerja dhuwur kanggo kabutuhan industri maju.
Pitakonan sing Sering Ditakoni (FAQ)
1. Q: Industri apa sing nggunakake nampan keramik silikon karbida?
A: Digunakake sacara wiyar ing manufaktur semikonduktor (penanganan wafer), energi surya (proses PECVD), peralatan medis (komponen MRI), lan aerospace (bagean suhu dhuwur) amarga tahan panas lan stabilitas kimia sing ekstrem.
2. Q: Kepiye silikon karbida ngluwihi nampan kuarsa / kaca?
A: Resistansi kejut termal sing luwih dhuwur (nganti 1800°C vs. kuarsa 1100°C), interferensi magnetik nol, lan umur luwih dawa (5+ taun vs kuarsa 6-12 sasi).
3. P: Bisa nampan silikon karbida nangani lingkungan asam?
A: Nggih. Tahan kanggo HF, H2SO4, lan NaOH kanthi korosi <0.01mm / taun, saéngga cocog kanggo etsa kimia lan reresik wafer.
4. Q: Apa nampan silikon karbida kompatibel karo otomatisasi?
A: Nggih. Dirancang kanggo pickup vakum lan penanganan robot, kanthi permukaan rata <0.01mm kanggo nyegah kontaminasi partikel ing pabrik otomatis.
5. P: Apa perbandingan biaya karo bahan tradisional?
A: Biaya ngarep sing luwih dhuwur (3-5x kuarsa) nanging TCO luwih murah 30-50% amarga umure luwih dawa, wektu suda, lan irit energi saka konduktivitas termal sing unggul.
