SiC Ceramic Fork Arm / End Effector - Penanganan Presisi Lanjut kanggo Manufaktur Semikonduktor

SiC Ceramic Fork Arm / End Effector - Penanganan Presisi Lanjut kanggo Gambar Unggulan Pabrikan Semikonduktor

Katrangan singkat:

Lengan Garpu Keramik SiC, asring diarani minangka Efektor Akhir Keramik, minangka komponen penanganan presisi kanthi kinerja dhuwur sing dikembangake khusus kanggo transportasi wafer, keselarasan, lan posisi ing industri teknologi tinggi, utamane ing produksi semikonduktor lan fotovoltaik. Digawe nggunakake keramik karbida silikon kemurnian dhuwur, komponen iki nggabungake kekuatan mekanik sing luar biasa, ekspansi termal ultra-rendah, lan resistensi sing unggul kanggo kejut termal lan karat.

Kirimi email kanggo kita

Fitur

Diagram rinci

Ringkesan produk

Ora kaya efektor pungkasan tradisional sing digawe saka aluminium, baja tahan karat, utawa malah kuarsa, efektor mburi keramik SiC nawakake kinerja sing ora cocog ing ruang vakum, kamar resik, lan lingkungan pangolahan sing kasar, dadi bagean penting saka robot penanganan wafer generasi sabanjure. Kanthi nambah permintaan kanggo produksi bebas kontaminasi lan toleransi sing luwih ketat ing pembuatan chip, panggunaan efektor mburi keramik kanthi cepet dadi standar industri.

Prinsip Manufaktur

Fabrikasi sakaEfektor Pungkasan Keramik SiCmelu seri saka dhuwur-tliti, dhuwur-kemurnian pangolahan sing njamin loro kinerja lan kekiatan. Loro proses utama biasane digunakake:

Silikon Karbida Berikat Reaksi (RB-SiC)

Ing proses iki, preform sing digawe saka bubuk silikon karbida lan pengikat disusupi karo silikon cair ing suhu dhuwur (~ 1500 ° C), sing bereaksi karo sisa karbon kanggo mbentuk komposit SiC-Si sing kaku lan kaku. Cara iki nawakake kontrol dimensi sing apik lan biaya-efektif kanggo produksi skala gedhe.

Silikon Karbida Sinter Tanpa Tekanan (SSiC)

SSiC digawe kanthi sintering wêdakakêna SiC kanthi kemurnian sing dhuwur banget ing suhu sing dhuwur banget (> 2000 ° C) tanpa nggunakake aditif utawa fase pengikat. Iki nyebabake produk kanthi kapadhetan meh 100% lan sifat mekanik lan termal paling dhuwur sing kasedhiya ing antarane bahan SiC. Iku becik kanggo aplikasi penanganan wafer ultra-kritis.

Post-Processing

Precision CNC Machining: Nampa flatness dhuwur lan paralelisme.
Finishing lumahing: Polishing berlian nyuda kasar permukaan dadi <0,02 µm.
Inspeksi: Interferometri optik, CMM, lan tes non-destruktif digunakake kanggo verifikasi saben potongan.

Langkah-langkah kasebut njamin yenEfektor akhir SiCngirimake akurasi placement wafer konsisten, planarity banget, lan generasi partikel minimal.

Fitur Utama lan Keuntungan

Fitur	Katrangan
Ultra-dhuwur atose	Kekerasan Vickers> 2500 HV, tahan nyandhang lan chipping.
Expansion Thermal Low	CTE ~4.5×10⁻⁶/K, mbisakake stabilitas dimensi ing siklus termal.
Inertness kimia	Tahan kanggo HF, HCl, gas plasma, lan agen korosif liyane.
Resistance Shock Thermal sing apik banget	Cocog kanggo pemanasan / pendinginan kanthi cepet ing sistem vakum lan tungku.
Kaku lan Kekuwatan Dhuwur	Ndhukung lengen garpu cantilevered dawa tanpa defleksi.
Kurang Outgassing	Becik kanggo lingkungan vakum ultra-dhuwur (UHV).
ISO Kelas 1 Cleanroom Siap	Operasi bebas partikel njamin integritas wafer.

Aplikasi

SiC Ceramic Fork Arm / End Effector digunakake akeh ing industri sing mbutuhake presisi, kebersihan, lan ketahanan kimia sing ekstrem. Skenario aplikasi utama kalebu:

Produksi Semikonduktor

Wafer loading/unloading ing deposisi (CVD, PVD), etsa (RIE, DRIE), lan sistem reresik.
Transportasi wafer robot antarane FOUP, kaset, lan alat proses.
Penanganan suhu dhuwur sajrone proses termal utawa anil.

Produksi Sel Photovoltaic

Transportasi alus wafer silikon rapuh utawa substrat solar ing garis otomatis.

Industri Tampilan Panel Datar (FPD).

Obah panel kaca gedhe utawa substrat ing lingkungan produksi OLED/LCD.

Senyawa Semikonduktor / MEMS

Digunakake ing garis fabrikasi GaN, SiC, lan MEMS sing kontrol kontaminasi lan akurasi posisi sing penting.

Peran efektor pungkasan utamane penting kanggo njamin penanganan sing stabil lan bebas cacat sajrone operasi sensitif.

Kapabilitas Kustomisasi

Kita nawakake kustomisasi ekstensif kanggo nyukupi macem-macem peralatan lan syarat proses:

Desain Fork: Tata letak loro-prong, multi-driji, utawa tingkat pamisah.
Kompatibilitas Ukuran Wafer: Saka 2 "nganti 12" wafer.
Mounting Antarmuka: Kompatibel karo OEM lengen robot.
Kekandelan & Toleransi lumahing: Micron-tingkat flatness lan pinggiran bunder kasedhiya.
Fitur Anti-Slip: Tekstur lumahing opsional utawa lapisan kanggo genggeman wafer aman.

Sabenefektor mburi keramikdirancang bebarengan karo klien kanggo mesthekake pas pas karo owah-owahan perkakas minimal.

Pitakonan sing Sering Ditakoni (FAQ)

Q1: Kepiye SiC luwih apik tinimbang kuarsa kanggo aplikasi efektor pungkasan?
A1:Nalika kuarsa umume digunakake kanggo kemurniane, ora nduweni kateguhan mekanis lan rawan rusak amarga beban utawa kejut suhu. SiC nawakake kekuatan sing unggul, tahan nyandhang, lan stabilitas termal, kanthi signifikan nyuda risiko downtime lan karusakan wafer.

Q2: Apa lengen garpu keramik iki kompatibel karo kabeh panangan wafer robot?
A2:Ya, efektor mburi keramik kita kompatibel karo sistem penanganan wafer utama lan bisa dicocogake karo model robot khusus sampeyan kanthi gambar teknik sing tepat.

Q3: Bisa nangani wafer 300 mm tanpa warping?
A3:Pancen. Kaku SiC sing dhuwur ngidini lengen garpu sing dawa lan tipis kanggo nyekel wafer 300 mm kanthi aman tanpa kendur utawa defleksi nalika obah.

Q4: Apa umur layanan khas efektor mburi keramik SiC?
A4:Kanthi panggunaan sing tepat, efektor ujung SiC bisa tahan 5 nganti 10 kaping luwih dawa tinimbang model kuarsa utawa aluminium tradisional, amarga resistensi sing apik kanggo stres termal lan mekanik.

Q5: Apa sampeyan nawakake panggantos utawa layanan prototyping kanthi cepet?
A5:Ya, kita ndhukung produksi sampel kanthi cepet lan nawakake layanan panggantos adhedhasar gambar CAD utawa bagean reverse-engineered saka peralatan sing ana.

Babagan Kita

XKH spesialisasi ing pangembangan teknologi dhuwur, produksi, lan dodolan kaca optik khusus lan bahan kristal anyar. Produk kita nyedhiyakake elektronik optik, elektronik konsumen, lan militer. Kita nawakake komponen optik Sapphire, tutup lensa ponsel, Keramik, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, lan wafer kristal semikonduktor. Kanthi keahlian trampil lan peralatan canggih, kita unggul ing pamrosesan produk non-standar, ngarahake dadi perusahaan teknologi tinggi bahan optoelektronik sing unggul.