Substrat Safir Berpola PSS 2 inci 4 inci 6 inci ICP etsa garing bisa digunakake kanggo chip LED
Karakteristik inti
1. Karakteristik bahan: Bahan substrate awujud safir kristal tunggal (Al₂O₃), kanthi atose dhuwur, tahan panas dhuwur, lan stabilitas kimia.
2. Struktur lumah: Lumah dibentuk kanthi fotolitografi lan etsa dadi struktur mikro-nano periodik, kayata kerucut, piramida utawa susunan heksagonal.
3. Performa optik: Liwat desain pola permukaan, total pantulan cahya ing antarmuka suda, lan efisiensi ekstraksi cahya saya apik.
4. Performa termal: Substrat safir nduweni konduktivitas termal sing apik banget, cocok kanggo aplikasi LED daya dhuwur.
5. Spesifikasi ukuran: Ukuran umum yaiku 2 inci (50.8mm), 4 inci (100mm) lan 6 inci (150mm).
Area aplikasi utama
1. Manufaktur LED:
Efisiensi ekstraksi cahya sing luwih apik: PSS nyuda mundhut cahya liwat desain pola, saengga ningkatake padhange LED lan efisiensi cahya kanthi signifikan.
Kualitas pertumbuhan epitaksial sing luwih apik: Struktur berpola nyedhiyakake basis pertumbuhan sing luwih apik kanggo lapisan epitaksial GaN lan ningkatake kinerja LED.
2. Dioda Laser (LD):
Laser daya dhuwur: Konduktivitas termal lan stabilitas PSS sing dhuwur cocok kanggo dioda laser daya dhuwur, ningkatake kinerja lan keandalan disipasi panas.
Arus ambang endhek: Ngoptimalake pertumbuhan epitaksial, nyuda arus ambang dioda laser, lan ningkatake efisiensi.
3. Fotodetektor:
Sensitivitas dhuwur: Transmisi cahya sing dhuwur lan kapadhetan cacat PSS sing endhek ningkatake sensitivitas lan kecepatan respon fotodetektor.
Respon spektral sing amba: cocok kanggo deteksi fotoelektrik ing rentang ultraviolet nganti katon.
4. Elektronika daya:
Resistensi voltase dhuwur: Insulasi lan stabilitas termal Sapphire sing dhuwur cocok kanggo piranti daya voltase dhuwur.
Disipasi panas sing efisien: Konduktivitas termal sing dhuwur ningkatake kinerja disipasi panas piranti listrik lan ndawakake umur layanan.
5. Piranti Rf:
Performa frekuensi dhuwur: Mundhut dielektrik sing endhek lan stabilitas termal PSS sing dhuwur cocok kanggo piranti RF frekuensi dhuwur.
Swara kurang: Kerataan sing dhuwur lan kapadhetan cacat sing kurang nyuda gangguan piranti lan ningkatake kualitas sinyal.
6. Biosensor:
Deteksi sensitivitas dhuwur: Transmisi cahya sing dhuwur lan stabilitas kimia PSS cocok kanggo biosensor sensitivitas dhuwur.
Biokompatibilitas: Biokompatibilitas safir ndadekake cocok kanggo aplikasi medis lan biodeteksi.
Substrat safir berpola (PSS) nganggo bahan epitaksial GaN:
Substrat safir berpola (PSS) minangka substrat sing ideal kanggo pertumbuhan epitaksial GaN (galium nitrida). Konstanta kisi safir cedhak karo GaN, sing bisa nyuda ketidakcocokan kisi lan cacat ing pertumbuhan epitaksial. Struktur mikro-nano permukaan PSS ora mung ningkatake efisiensi ekstraksi cahya, nanging uga ningkatake kualitas kristal lapisan epitaksial GaN, saengga ningkatake kinerja lan keandalan LED.
Parameter teknis
| Barang | Substrat Safir Bermotif (2~6 inci) | ||
| Diameter | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Kekandelan | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Orientasi Permukaan | C-plane (0001) ora cocog karo sumbu M (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| C-plane (0001) ora miring menyang sumbu A (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Orientasi Datar Utama | A-Plane (11-20) ± 1.0° | ||
| Dawane Datar Utama | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| Pesawat-R | Jam 9 | ||
| Rampungan Permukaan Ngarep | Berpola | ||
| Rampungan Permukaan Mburi | SSP: Digiling alus, Ra=0.8-1.2um; DSP: Dipoles epi, Ra<0.3nm | ||
| Tandha Laser | Sisih mburi | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| GAndhewa | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| WARP | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Pengecualian Tepi | ≤2 mm | ||
| Spesifikasi Pola | Struktur Wangun | Kubah, Kerucut, Piramida | |
| Dhuwur Pola | 1,6 ~ 1,8 μm | ||
| Diameter Pola | 2,75 ~ 2,85μm | ||
| Ruang Pola | 0,1 ~ 0,3 μm | ||
XKH spesialisasine nyedhiyakake substrat safir berpola (PSS) sing berkualitas tinggi lan disesuaikan kanthi dhukungan teknis lan layanan purna jual kanggo mbantu para pelanggan entuk inovasi sing efisien ing bidang LED, tampilan, lan optoelektronik.
1. Pasokan PSS kualitas dhuwur: Substrat safir bermotif kanthi macem-macem ukuran (2", 4", 6") kanggo nyukupi kabutuhan LED, layar, lan piranti optoelektronik.
2. Desain khusus: Sesuaikan struktur mikro-nano permukaan (kayata kerucut, piramida, utawa susunan heksagonal) miturut kabutuhan pelanggan kanggo ngoptimalake efisiensi ekstraksi cahya.
3. Dhukungan teknis: Nyedhiyakake desain aplikasi PSS, optimasi proses, lan konsultasi teknis kanggo mbantu para pelanggan ningkatake kinerja produk.
4. Dhukungan wutah epitaksial: PSS sing cocog karo bahan epitaksial GaN diwenehake kanggo njamin wutah lapisan epitaksial sing berkualitas tinggi.
5. Pengujian lan sertifikasi: Nyedhiyakake laporan inspeksi kualitas PSS kanggo mesthekake yen produk memenuhi standar industri.
Diagram Rinci







