Pola Sapphire Substrat PSS 2inch 4inch 6inch ICP dry etching bisa digunakake kanggo chip LED
Karakteristik inti
1. Karakteristik materi: Bahan substrat yaiku sapir kristal tunggal (Al₂O₃), kanthi kekerasan dhuwur, tahan panas dhuwur lan stabilitas kimia.
2. Struktur lumahing: Lumahing kawangun dening photolithography lan etching menyang periodik struktur micro-nano, kayata cones, piramida utawa susunan heksagonal.
3. kinerja Optical: Liwat desain patterning lumahing, bayangan total cahya ing antarmuka wis suda, lan efficiency extraction cahya wis apik.
4. Kinerja termal: Substrat Sapphire nduweni konduktivitas termal sing apik, cocok kanggo aplikasi LED daya dhuwur.
5. Spesifikasi ukuran: Ukuran umum yaiku 2 inci (50.8mm), 4 inci (100mm) lan 6 inci (150mm).
Area aplikasi utama
1. Produksi LED:
Efisiensi ekstraksi cahya sing luwih apik: PSS nyuda mundhut cahya liwat desain pola, kanthi nyata ningkatake padhang LED lan efisiensi cahya.
Kualitas wutah epitaxial sing luwih apik: Struktur pola nyedhiyakake basis pertumbuhan sing luwih apik kanggo lapisan epitaxial GaN lan ningkatake kinerja LED.
2. Dioda Laser (LD):
Laser daya dhuwur: Konduktivitas termal dhuwur lan stabilitas PSS cocok kanggo dioda laser daya dhuwur, nambah kinerja boros panas lan linuwih.
Saiki batesan rendah: Ngoptimalake wutah epitaxial, nyuda arus batesan dioda laser, lan nambah efisiensi.
3. Detektor foto:
Sensitivitas dhuwur: Transmisi cahya dhuwur lan Kapadhetan kurang cacat PSS nambah sensitivitas lan kacepetan respon saka photodetector.
Tanggepan spektral Wide: cocok kanggo deteksi fotoelektrik ing ultraviolet kanggo sawetara katon.
4. Elektronika Daya:
Resistance voltase dhuwur: insulasi dhuwur Sapphire lan stabilitas termal cocok kanggo piranti daya voltase dhuwur.
Boros panas sing efisien: Konduktivitas termal sing dhuwur nambah kinerja boros panas piranti daya lan ndawakake umur layanan.
5. Piranti Rf:
Kinerja frekuensi dhuwur: Mundhut dielektrik sing kurang lan stabilitas termal PSS sing dhuwur cocok kanggo piranti RF frekuensi dhuwur.
Kurang gangguan: Flatness dhuwur lan Kapadhetan kurang cacat nyuda gangguan piranti lan nambah kualitas sinyal.
6. Biosensor:
Deteksi sensitivitas dhuwur: Transmisi cahya dhuwur lan stabilitas kimia PSS cocok kanggo biosensor sensitivitas dhuwur.
Biokompatibilitas: Biokompatibilitas sapir ndadekake cocok kanggo aplikasi medis lan biodeteksi.
Substrat safir bermotif (PSS) kanthi bahan epitaxial GaN:
Substrat safir berpola (PSS) minangka substrat sing cocog kanggo pertumbuhan epitaxial GaN (gallium nitride). Konstanta kisi safir cedhak karo GaN, sing bisa nyuda ketidakcocokan kisi lan cacat ing pertumbuhan epitaxial. Struktur mikro-nano permukaan PSS ora mung nambah efisiensi ekstraksi cahya, nanging uga nambah kualitas kristal lapisan epitaxial GaN, saéngga ningkatake kinerja lan linuwih LED.
Parameter teknis
| Item | Substrat Safir Berpola (2~6 inci) | ||
| Dhiameter | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| kekandelan | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Orientasi lumahing | C-bidang (0001) off-angle menyang sumbu-M (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
| C-bidang (0001) off-angle menyang A-sumbu (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Orientasi Flat Primer | A-Bidang (11-20) ± 1,0 ° | ||
| Panjang Datar Utama | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| R-Pesawat | jam 9 | ||
| Rampung lumahing ngarep | Dipola | ||
| Mburi lumahing Rampung | SSP: Lemah alus, Ra = 0.8-1.2um; DSP: Epi-polesan, Ra <0.3nm | ||
| Tandha Laser | Sisih mburi | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| BOW | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| WARP | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Pangecualian Edge | ≤2 mm | ||
| Spesifikasi Pola | Struktur Wujud | Kubah, Cone, Piramida | |
| Pola Dhuwur | 1.6~1.8μm | ||
| Pola Diameter | 2,75~2,85μm | ||
| Pola Spasi | 0,1 ~ 0,3μm | ||
XKH spesialisasi nyedhiyakake substrat safir berpola (PSS) bermutu tinggi kanthi dhukungan teknis lan layanan sawise dodolan kanggo mbantu para pelanggan entuk inovasi sing efisien ing bidang LED, tampilan lan optoelektronik.
1. Pasokan PSS kualitas dhuwur: Substrat safir bermotif ing macem-macem ukuran (2 ", 4", 6 ") kanggo nyukupi kabutuhan piranti LED, tampilan lan optoelektronik.
2. Desain sing disesuaikan: Ngatur struktur mikro-nano permukaan (kayata kerucut, piramida utawa susunan heksagonal) miturut kabutuhan pelanggan kanggo ngoptimalake efisiensi ekstraksi cahya.
3. Dhukungan teknis: Nyedhiyakake desain aplikasi PSS, optimasi proses lan konsultasi teknis kanggo mbantu para pelanggan ningkatake kinerja produk.
4. Dhukungan wutah epitaxial: PSS sing cocog karo materi epitaxial GaN diwenehake kanggo njamin pertumbuhan lapisan epitaxial sing berkualitas tinggi.
5. Pengujian lan sertifikasi: Nyedhiyani laporan inspeksi kualitas PSS kanggo mesthekake yen produk cocog karo standar industri.
Diagram rinci
