Peralatan teknologi laser Microjet kanggo nglereni wafer, ngolah bahan SiC,

Peralatan teknologi laser Microjet kanggo nglereni wafer pangolahan bahan SiC Gambar Unggulan

Katrangan Cekak:

Piranti teknologi laser microjet iku sawijining sistem mesin presisi sing nggabungake laser energi dhuwur lan jet cair tingkat mikron. Kanthi nggandhengake sinar laser menyang jet cair kecepatan dhuwur (banyu deionisasi utawa cairan khusus), pangolahan bahan kanthi presisi dhuwur lan kerusakan termal sing sithik bisa diwujudake. Teknologi iki cocog banget kanggo ngethok, ngebor, lan pangolahan mikrostruktur bahan atos lan rapuh (kayata SiC, safir, kaca), lan digunakake sacara wiyar ing semikonduktor, tampilan fotolistrik, piranti medis, lan bidang liyane.

Kirim email menyang kita

Fitur-fitur

Prinsip kerja:

1. Kopling laser: laser berdenyut (UV/ijo/infrared) difokusake ing njero jet cair kanggo mbentuk saluran transmisi energi sing stabil.

2. Pandhuan cairan: jet kecepatan tinggi (laju aliran 50-200m/s) ngademake area pangolahan lan mbusak lebu kanggo nyegah akumulasi panas lan polusi.

3. Ngilangake materi: Energi laser nyebabake efek kavitasi ing cairan kanggo entuk pangolahan adhem materi (zona sing kena pengaruh panas <1μm).

4. Kontrol dinamis: pangaturan parameter laser (daya, frekuensi) lan tekanan jet kanthi wektu nyata kanggo nyukupi kabutuhan macem-macem bahan lan struktur.

Parameter kunci:

1. Daya laser: 10-500W (bisa diatur)

2. Diameter jet: 50-300μm

3. Akurasi mesin: ±0.5μm (pemotongan), rasio ambane nganti ambane 10:1 (pengeboran)

Kauntungan teknis:

(1) Meh ora ana kerusakan panas
- Pendinginan jet cair ngontrol zona sing kena pengaruh panas (HAZ) nganti **<1μm**, nyegah retakan mikro sing disebabake dening proses laser konvensional (HAZ biasane >10μm).

(2) Mesin presisi ultra-dhuwur
- Akurasi motong/ngebor nganti **±0.5μm**, kekasaran pinggir Ra<0.2μm, ngurangi kebutuhan kanggo polesan sabanjure.

- Ndhukung pangolahan struktur 3D sing kompleks (kayata bolongan kerucut, slot sing awujud).

(3) Kompatibilitas materi sing amba
- Bahan atos lan rapuh: SiC, safir, kaca, keramik (cara tradisional gampang pecah).

- Bahan sing sensitif marang panas: polimer, jaringan biologis (ora ana risiko denaturasi termal).

(4) Perlindungan lan efisiensi lingkungan
- Ora ana polusi bledug, cairan bisa didaur ulang lan disaring.

- Peningkatan kecepatan pamrosesan 30%-50% (dibandhingake karo mesin).

(5) Kontrol cerdas
- Optimasi posisi visual lan parameter AI sing terintegrasi, kekandelan lan cacat materi adaptif.

Spesifikasi teknis：

Volume meja	300300150	400400200
Sumbu linier XY	Motor linier. Motor linier	Motor linier. Motor linier
Sumbu linier Z	150	200
Akurasi posisi μm	+/-5	+/-5
Akurasi posisi bola-bali μm	+/-2	+/-2
Akselerasi G	1	0.29
Kontrol numerik	3 sumbu /3+1 sumbu /3+2 sumbu	3 sumbu /3+1 sumbu /3+2 sumbu
Tipe kontrol numerik	DPSS Nd:YAG	DPSS Nd:YAG
Panjang gelombang nm	532/1064	532/1064
Daya sing dirating W	50/100/200	50/100/200
Jet banyu	40-100	40-100
Bar tekanan nozzle	50-100	50-600
Dimensi (mesin perkakas) (jembar * dawa * dhuwur) mm	144519442260	170015002120
Ukuran (kabinet kontrol) (P * L * T)	70025001600	70025001600
Bobot (piranti) T	2.5	3
Bobot (kabinet kontrol) KG	800	800
Kapabilitas pangolahan	Kekasaran permukaan Ra≤1.6um Kacepetan pambukaan ≥1.25mm/s Pemotongan keliling ≥6mm/s Kacepetan motong linier ≥50mm/s	Kekasaran permukaan Ra≤1.2um Kacepetan pambukaan ≥1.25mm/s Pemotongan keliling ≥6mm/s Kacepetan motong linier ≥50mm/s
	Kanggo kristal galium nitrida, bahan semikonduktor celah pita ultra-lebar (berlian/Gallium oksida), bahan khusus aerospace, substrat keramik karbon LTCC, fotovoltaik, kristal sintilator lan pangolahan bahan liyane. Cathetan: Kapasitas pangolahan beda-beda gumantung saka karakteristik materi

Kasus pangolahan:

Layanan XKH:

XKH nyedhiyakake macem-macem dhukungan layanan siklus urip lengkap kanggo peralatan teknologi laser microjet, wiwit saka pangembangan proses awal lan konsultasi pemilihan peralatan, nganti integrasi sistem khusus jangka menengah (kalebu pencocokan khusus sumber laser, sistem jet lan modul otomatisasi), nganti pelatihan operasi lan perawatan mengko lan optimasi proses terus-terusan, kabeh proses dilengkapi dhukungan tim teknis profesional; Adhedhasar 20 taun pengalaman mesin presisi, kita bisa nyedhiyakake solusi siji-mandeg kalebu verifikasi peralatan, introduksi produksi massal lan respon cepet sawise dodolan (dhukungan teknis 24 jam + cadangan suku cadang utama) kanggo macem-macem industri kayata semikonduktor lan medis, lan janji garansi 12 wulan lan layanan perawatan lan peningkatan seumur hidup. Priksa manawa peralatan pelanggan tansah njaga kinerja lan stabilitas pangolahan sing unggul ing industri.