Efektor Akhir Keramik Alumina Kinerja Tinggi (Lengan Garpu) kanggo Semikonduktor lan Otomasi Kamar Bersih
Diagram rinci


Pambuka produk

Efektor Akhir Keramik Alumina, uga diarani lengen garpu keramik utawa tangan keramik robot, minangka komponen penanganan kanthi tliti dhuwur sing dirancang kanggo sistem otomatis ing semikonduktor, fotovoltaik, tampilan panel, lan lingkungan laboratorium kemurnian dhuwur. Iki direkayasa kanggo nyedhiyakake stabilitas termal sing luar biasa, kaku mekanik, lan tahan kimia, nawakake transportasi bahan sensitif sing resik, dipercaya, lan aman kayata wafer silikon, substrat kaca, lan komponen mikro elektronik.
Minangka jinis efektor pungkasan robot, komponen keramik iki minangka antarmuka pungkasan antarane sistem otomasi lan benda kerja. Iki nduweni peran kritis ing transfer presisi, alignment, loading / unloading, lan tugas posisi ing kamar resik lan lingkungan vakum.
Ringkesan Bahan - Keramik Alumina (Al₂O₃)
Keramik alumina minangka bahan keramik teknis sing stabil lan inert kimia sing dikenal kanthi sifat mekanik lan listrik sing apik banget. Kemurnian dhuwur (≥ 99,5%) alumina sing digunakake ing efektor pungkasan iki njamin:
-
Kekerasan dhuwur (Mohs 9): Kapindho mung kanggo berlian, alumina menehi resistance nyandhang nemen.
-
Kapabilitas suhu dhuwur: Njaga integritas struktur ing ndhuwur 1600°C.
-
Inertness kimia: Tahan kanggo asam, alkali, pelarut, lan lingkungan etsa plasma.
-
Isolasi listrik: Kanthi kekuatan dielektrik dhuwur lan mundhut dielektrik kurang.
-
Ekspansi termal sing kurang: Njamin stabilitas dimensi ing lingkungan siklus termal.
-
Generasi partikel sing kurang: Penting kanggo kompatibilitas kamar resik (Kelas 10 nganti Kelas 1000).
Fitur kasebut nggawe keramik alumina cocog kanggo operasi kritis misi ing industri sensitif kontaminasi.
Aplikasi Fungsional
Efektor pungkasan keramik alumina diadopsi sacara luas ing proses industri berteknologi tinggi, utamane ing ngendi bahan metalik utawa plastik tradisional tiba amarga ekspansi termal, kontaminasi, utawa masalah karat. Bidang aplikasi utama kalebu:
- Transfer wafer semikonduktor
- Photolithography loading lan unloading sistem
- Penanganan substrat kaca ing garis OLED lan LCD
- Transfer wafer silikon kristal ing produksi sel surya
- Inspeksi optik utawa mikroelektronik otomatis
- Transportasi sampel ing laboratorium analitik utawa biomedis
- Sistem otomatisasi lingkungan vakum
Kemampuan kanggo nindakake tanpa ngenalake partikel utawa muatan statis ndadekake penting kanggo operasi robot sing tepat ing otomatisasi kamar resik.

Fitur Desain & Kustomisasi
Saben efektor pungkasan keramik direkayasa supaya pas karo lengen robot utawa sistem penanganan wafer tartamtu. Kita ndhukung kustomisasi lengkap adhedhasar:
-
Kompatibilitas ukuran wafer: 2", 4", 6", 8", 12" lan liyane
-
geometri Slot lan let: Nampung genggeman pinggiran, dhukungan sisih mburi, utawa desain wafer notched
-
Port nyedhot: bolongan vakum Integrasi utawa saluran kanggo nangani non-kontak
-
Konfigurasi pemasangan: Bolongan, Utas, slot ngarang kanggo flange alat pungkasan robot Panjenengan
-
Pangobatan lumahing: Rampung polesan, lapped, utawa lemah alus (Ra < 0,2 µm kasedhiya)
-
Proteksi pinggiran: Bunder sudhut utawa chamfering supaya karusakan wafer
Kanthi nggunakake gambar CAD utawa model 3D sing diwenehake dening pelanggan, insinyur kita bisa ngoptimalake saben lengen garpu kanggo bobot, kekuatan, lan kebersihan.

Kaluwihan saka Keramik End Effectors
Fitur | keuntungan |
---|---|
Rigiditas Mekanik Dhuwur | Njaga presisi dimensi ing pasukan loading robot |
Kinerja termal sing apik banget | Nindakake andal ing lingkungan suhu dhuwur utawa plasma |
Nol Kontaminasi Logam | Ora ana risiko kontaminasi ion ing pangolahan semikonduktor kritis |
Lumahing gesekan kurang | Nyuda risiko goresan ing wafer utawa substrat kaca |
Anti-Statis lan Non-Magnetik | Ora narik bledug utawa mengaruhi komponen sensitif magnetik |
Long Service Life | Ketahanan nyandhang sing unggul ing siklus otomatisasi kacepetan dhuwur sing bola-bali |
Kompatibilitas Ultra-Clean | Cocog kanggo kamar resik ISO 14644 (Kelas 100 lan ngisor) |
Dibandhingake karo plastik utawa aluminium, keramik alumina nyedhiyakake stabilitas kimia lan fisik sing luwih apik kanthi syarat pangopènan sing minimal.
Properti | Lengan Logam | Lengan Plastik | Lengan Keramik Alumina |
---|---|---|---|
Kekerasan | Moderate | kurang | Dhuwur banget (Mohs 9) |
Stabilitas termal | ≤ 500°C | ≤ 150°C | ≥ 1600°C |
Ketahanan kimia | Moderate | mlarat | Banget |
Kesesuaian Kamar Bersih | Sedheng | kurang | Dhuwur Banget |
Wear Resistance | Sedheng | kurang | pinunjul |
Kekuwatan dielektrik | kurang | Sedheng | dhuwur |
Presisi Mesin Custom | winates | Moderate | Dhuwur (± 0.01mm bisa) |
Spesifikasi Teknis
Parameter | Nilai |
---|---|
Bahan | Alumina kemurnian dhuwur (≥ 99,5%) |
Suhu Kerja | Nganti 1600 ° C |
Kekasaran lumahing | Ra ≤ 0,2 µm (opsional) |
Ukuran Wafer Kompatibel | 2 "nganti 12" utawa adat |
Toleransi Flatness | ± 0,01 mm (gumantung aplikasi) |
Dhukungan nyedhot vakum | Pilihan, saluran sing bisa disesuaikan |
Pilihan Pemasangan | Bolt-liwat, flange, bolongan slotted |
Pitakonan sing Sering Ditakoni (FAQ)
Q1: Apa efektor pungkasan bisa digabungake menyang sistem robot sing ana?
A1:ya wis. Kita ndhukung kustomisasi adhedhasar antarmuka robot sampeyan. Sampeyan bisa ngirim gambar CAD utawa dimensi flange kanggo adaptasi sing tepat.
Q2: Apa lengen keramik bakal gampang rusak nalika digunakake?
A2:Nalika keramik iku rapuh, desain kita nggunakake geometri sing dioptimalake kanggo nyuda konsentrasi stres. Ing kahanan panggunaan sing tepat, nyedhiyakake umur layanan sing luwih dawa tinimbang logam utawa plastik.
Q3: Apa bisa digunakake ing ruang vakum utawa plasma etsa ultra-dhuwur?
A3:ya wis. Keramik alumina iku non-outgassing, termal stabil, lan tahan karat-sampurna cocok kanggo vakum dhuwur, gas reaktif, utawa lingkungan plasma.
Q4: Kepiye komponen kasebut diresiki utawa dijaga?
A4:Bisa diresiki nganggo banyu DI, alkohol, utawa deterjen sing cocog karo kamar resik. Ora perlu pangopènan khusus amarga stabilitas kimia lan permukaan inert.
Babagan Kita
XKH spesialisasi ing pangembangan teknologi dhuwur, produksi, lan dodolan kaca optik khusus lan bahan kristal anyar. Produk kita nyedhiyakake elektronik optik, elektronik konsumen, lan militer. Kita nawakake komponen optik Sapphire, tutup lensa ponsel, Keramik, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, lan wafer kristal semikonduktor. Kanthi keahlian trampil lan peralatan canggih, kita unggul ing pamrosesan produk non-standar, ngarahake dadi perusahaan teknologi tinggi bahan optoelektronik sing unggul.
