Wafer SiC 4 inci Substrat SiC Semi-Insulating 6H kelas utama, riset, lan dummy

Katrangan Cekak:

Substrat silikon karbida semi-terisolasi dibentuk kanthi ngethok, nggiling, poles, ngresiki, lan teknologi pangolahan liyane sawise tuwuhing kristal silikon karbida semi-terisolasi. Lapisan utawa lapisan kristal multilapis ditumbuhake ing substrat sing nyukupi syarat kualitas minangka epitaksi, banjur piranti RF gelombang mikro digawe kanthi nggabungake desain sirkuit lan kemasan. Kasedhiya minangka substrat kristal tunggal silikon karbida semi-terisolasi industri, riset, lan uji coba kelas 2 inci 3 inci 4 inci 6 inci 8 inci.

Kirim email menyang kita

Fitur-fitur

Spesifikasi Produk

Kelas			Kelas Produksi MPD Nol (Kelas Z)			Kelas Produksi Standar (Kelas P)		Kelas Bodho (Kelas D)
Diameter			99,5 mm ~ 100,0 mm
	4H-SI		500 μm±20 μm			500 μm±25 μm
Orientasi Wafer			Metu saka sumbu: 4.0° menyang< 1120 > ±0.5° kanggo 4H-N, Ing sumbu: <0001>±0.5° kanggo 4H-SI
	4H-SI		≤1cm^-2			≤5 cm^-2		≤15 cm^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
Orientasi Datar Utama		{10-10} ±5.0°
Dawane Datar Utama		32,5 mm±2,0 mm
Dawane Datar Sekunder		18,0 mm±2,0 mm
Orientasi Datar Sekunder		Sudut silikon munggah: 90° CW. saka rata Prime ±5.0°
Pengecualian Tepi		3 mm
LTV/TTV/Busur/Lungkup		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Kasar			rai C				Polandia		Ra≤1 nm
			Rai Si	CMP	Ra≤0.2 nm					Ra≤0.5 nm
Retakan Pinggir Amarga Cahya Intensitas Tinggi		Ora ana						Dawane kumulatif ≤ 10 mm, tunggal dawane ≤2 mm
Pelat Hex Kanthi Cahya Intensitas Tinggi		Area kumulatif ≤0,05%						Area kumulatif ≤0,1%
Area Politipe Miturut Cahya Intensitas Tinggi		Ora ana						Area kumulatif ≤3%
Inklusi Karbon Visual		Area kumulatif ≤0,05%						Area kumulatif ≤3%
Goresan Permukaan Silikon Amarga Cahya Intensitas Tinggi		Ora ana						Dawane kumulatif ≤1＊diameter wafer
Keripik Pinggir Dhuwur Kanthi Cahya Intensitas		Ora ana sing diidinake jembar lan jerone ≥0,2 mm						5 diidinake, ≤1 mm saben
Kontaminasi Permukaan Silikon Kanthi Intensitas Tinggi		Ora ana
Kemasan		Kaset Multi-wafer Utawa Wadhah Wafer Tunggal