Ingot SiC 2 inci Diameter 50.8mmx10mmt 4H-N monocrystal
Teknologi Pertumbuhan Kristal SiC
Karakteristik SiC nggawe angel tuwuh kristal tunggal.Iki utamane amarga ora ana fase cair kanthi rasio stoikiometri Si: C = 1: 1 ing tekanan atmosfer, lan ora bisa tuwuh SiC kanthi metode pertumbuhan sing luwih diwasa, kayata metode gambar langsung lan metode crucible tiba, sing dadi andalan industri semikonduktor.Secara teoritis, solusi kanthi rasio stoikiometri Si: C = 1: 1 mung bisa diduweni nalika tekanan luwih saka 10E5atm lan suhu luwih dhuwur tinimbang 3200 ℃.Saiki, cara utama kalebu metode PVT, metode fase cair, lan metode deposisi kimia fase uap suhu dhuwur.
Wafer lan kristal SiC sing diwenehake utamane ditanam kanthi transportasi uap fisik (PVT), lan ing ngisor iki minangka introduksi singkat kanggo PVT:
Cara transportasi uap fisik (PVT) asale saka teknik sublimasi fase gas sing diciptakake dening Lely ing taun 1955, yaiku bubuk SiC dilebokake ing tabung grafit lan dipanasake nganti temperatur dhuwur kanggo nggawe bubuk SiC terurai lan sublimat, lan banjur grafit. tabung digawe adhem mudhun, lan komponen fase gas decomposed saka bubuk SiC disimpen lan crystallized minangka kristal SiC ing tlatah watara tabung grafit.Sanajan cara iki angel kanggo entuk kristal tunggal SiC ukuran gedhe lan proses deposisi ing jero tabung grafit angel dikontrol, nanging menehi ide kanggo peneliti sabanjure.
YM Tairov et al.ing Rusia ngenalaken konsep kristal wiji ing basis iki, sing ngrampungake masalah wangun kristal sing ora bisa dikendhaleni lan posisi nukleasi kristal SiC.Peneliti sakteruse terus nambah lan pungkasane ngembangake metode transfer uap fisik (PVT) sing digunakake ing industri saiki.
Minangka metode pertumbuhan kristal SiC paling awal, PVT saiki minangka metode pertumbuhan paling utama kanggo kristal SiC.Dibandhingake karo cara liyane, cara iki nduweni syarat kurang kanggo peralatan wutah, proses wutah prasaja, kontrol kuwat, pembangunan pepek lan riset, lan wis industri.
Diagram rinci
![asd (1)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-19.jpg)
![asd (2)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-29.jpg)
![asd (3)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-35.jpg)
![asd (4)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-42.jpg)