Apa bedane substrat konduktif SiC lan substrat semi-terisolasi?

SiC silikon karbidapiranti kasebut nuduhake piranti sing digawe saka silikon karbida minangka bahan mentah.

Miturut sifat resistensi sing beda, dipérang dadi piranti listrik karbida silikon konduktif lansilikon karbida semi-terisolasipiranti RF.

Wangun piranti utama lan aplikasi silikon karbida

Kaluwihan utama SiC liwatSi bahanyaiku:

SiC duwe celah pita 3 kaping Si, sing bisa nyuda bocor lan nambah toleransi suhu.

SiC nduweni 10 kaping kekuatan lapangan risak saka Si, bisa nambah Kapadhetan saiki, frekuensi operasi, tahan kapasitas voltase lan nyuda mundhut on-off, luwih cocok kanggo aplikasi voltase dhuwur.

SiC nduweni kecepatan drift saturasi elektron kaping pindho saka Si, saengga bisa digunakake kanthi frekuensi sing luwih dhuwur.

SiC nduweni 3 kali konduktivitas termal saka Si, kinerja boros panas sing luwih apik, bisa ndhukung Kapadhetan daya dhuwur lan nyuda syarat boros panas, nggawe piranti luwih entheng.

Substrat konduktif

Substrat konduktif: Kanthi mbusak macem-macem impurities ing kristal, utamané impurities tingkat cethek, kanggo entuk resistivity dhuwur intrinsik saka kristal.

a1

Konduktifsubstrat silikon karbidawafer SiC

Piranti daya silikon karbida konduktif yaiku liwat pertumbuhan lapisan epitaxial silikon karbida ing landasan konduktif, lembaran epitaxial silikon karbida luwih diproses, kalebu produksi dioda Schottky, MOSFET, IGBT, lan liya-liyane, utamane digunakake ing kendaraan listrik, tenaga fotovoltaik. generasi, transit rel, pusat data, pangisian daya lan infrastruktur liyane. Keuntungan kinerja kaya ing ngisor iki:

Karakteristik tekanan dhuwur sing ditingkatake. Kekuwatan medan listrik silikon karbida luwih saka 10 kaping silikon, sing ndadekake resistensi tekanan dhuwur piranti karbida silikon luwih dhuwur tinimbang piranti silikon sing padha.

Karakteristik suhu dhuwur sing luwih apik. Silicon carbide nduweni konduktivitas termal sing luwih dhuwur tinimbang silikon, sing ndadekake boros panas piranti luwih gampang lan suhu operasi watesan luwih dhuwur. Resistance suhu dhuwur bisa mimpin kanggo Tambah pinunjul ing Kapadhetan daya, nalika ngurangi syarat ing sistem cooling, supaya terminal bisa luwih entheng lan miniaturized.

Konsumsi energi sing luwih murah. ① Piranti karbida silikon nduweni resistensi sing kurang banget lan kurang mundhut; (2) Arus bocor piranti silikon karbida dikurangi sacara signifikan tinimbang piranti silikon, saéngga nyuda mundhut daya; ③ Ora ana kedadean tailing saiki ing proses mateni piranti silikon karbida, lan mundhut ngoper kurang, kang nemen nambah frekuensi ngoper saka aplikasi praktis.

Substrat SiC semi-terisolasi

Substrat SiC semi-terisolasi: N doping digunakake kanggo ngontrol resistivity produk konduktif kanthi akurat kanthi kalibrasi hubungan sing cocog antarane konsentrasi doping nitrogen, tingkat pertumbuhan lan resistivity kristal.

a2
a3

Bahan substrat semi-insulating kemurnian dhuwur

Piranti RF basis karbon silikon semi-terisolasi luwih digawe kanthi ngembangake lapisan epitaxial gallium nitride ing substrat karbida silikon semi-terisolasi kanggo nyiapake lembaran epitaxial silikon nitrida, kalebu HEMT lan piranti RF gallium nitride liyane, utamane digunakake ing komunikasi 5G, komunikasi kendaraan, aplikasi pertahanan, transmisi data, aerospace.

Tingkat drift elektron jenuh saka bahan silikon karbida lan gallium nitrida yaiku 2,0 lan 2,5 kaping silikon, mula frekuensi operasi piranti silikon karbida lan gallium nitrida luwih gedhe tinimbang piranti silikon tradisional. Nanging, materi gallium nitride duwe kerugian saka resistance panas miskin, nalika silikon carbide wis resistance panas apik lan konduktivitas termal, kang bisa nggawe serep kanggo resistance panas miskin piranti gallium nitride, supaya industri njupuk semi-terisolasi silikon carbide minangka landasan. , lan lapisan epitaxial gan ditanam ing substrat silikon karbida kanggo nggawe piranti RF.

Yen ana pelanggaran, kontak mbusak


Posting wektu: Jul-16-2024