Apa Tegese TTV, BOW, WARP, lan TIR ing Wafer?

Nalika mriksa wafer silikon semikonduktor utawa substrat sing digawe saka bahan liyane, kita kerep nemoni indikator teknis kayata: TTV, BOW, WARP, lan bisa uga TIR, STIR, LTV, lan liya-liyane. Paramèter apa sing diwakili?

TTV - Variasi Kekandelan Total
BUNGKUNG - BUNGKUNG
WARP - Warp
TIR - Total dituduhake Reading
STIR - Situs Total dituduhake Reading
LTV - Variasi Ketebalan Lokal

1. Variasi Kekandelan Total - TTV

Bentenipun antarane maksimum lan minimal kekandelan wafer relatif kanggo bidang referensi nalika wafer wis clamped lan ing kontak cedhak. Umume ditulis ing mikrometer (μm), asring dituduhake minangka: ≤15 μm.

2. GUNUNG - GUNUNG

Penyimpangan antarane jarak minimal lan maksimum saka titik tengah lumahing wafer menyang bidang referensi nalika wafer ing negara free (unclamp). Iki kalebu kasus concave (busur negatif) lan convex (busur positif). Biasane ditulis ing mikrometer (μm), asring dituduhake minangka: ≤40 μm.

3. Warp - Warp

Penyimpangan antarane jarak minimal lan maksimum saka lumahing wafer menyang bidang referensi (biasane lumahing mburi wafer) nalika wafer ing negara free (unclamp). Iki kalebu kasus concave (negatif warp) lan convex (positif warp). Umume ditulis ing mikrometer (μm), asring dituduhake minangka: ≤30 μm.

4. Total dituduhake Reading - TIR

Nalika wafer wis clamped lan ing kontak cedhak, nggunakake pesawat referensi sing minimalake jumlah intercepts kabeh TCTerms ing wilayah kualitas utawa wilayah lokal tartamtu ing lumahing wafer, TIR punika penyimpangan antarane maksimum lan minimal jarak saka lumahing wafer kanggo bidang referensi iki.

Didegake kanthi keahlian sing jero babagan spesifikasi bahan semikonduktor kayata TTV, BOW, WARP, lan TIR, XKH nyedhiyakake layanan pangolahan wafer khusus kanthi presisi sing cocog karo standar industri sing ketat. Kita nyedhiyakake lan ndhukung macem-macem bahan berkinerja dhuwur kalebu sapir, silikon karbida (SiC), wafer silikon, SOI, lan kuarsa, njamin kerataan sing luar biasa, konsistensi kekandelan, lan kualitas permukaan kanggo aplikasi canggih ing optoelektronik, piranti daya, lan MEMS. Dipercaya kita kanggo ngirim solusi materi sing dipercaya lan mesin presisi sing nyukupi syarat desain sing paling nuntut.