Kanthi perkembangan teknologi semikonduktor sing terus-terusan, ing industri semikonduktor lan malah industri fotovoltaik, syarat kanggo kualitas permukaan substrat wafer utawa lembaran epitaksial uga ketat banget. Dadi, apa syarat kualitas kanggo wafer? Njupukwafer safirMinangka conto, indikator apa sing bisa digunakake kanggo ngevaluasi kualitas permukaan wafer?
Apa wae indikator evaluasi wafer?
Telung indikator kasebut
Kanggo wafer safir, indikator evaluasine yaiku deviasi kekandelan total (TTV), lengkungan (Bow) lan lungsin (Warp). Telung parameter iki bebarengan nggambarake kerataan lan keseragaman kekandelan wafer silikon, lan bisa ngukur tingkat riak wafer. Kerutan bisa digabungake karo kerataan kanggo ngevaluasi kualitas permukaan wafer.
Apa kuwi TTV, BOW, Warp?
TTV (Variasi Ketebalan Total)
TTV iku bedane antarane kekandelan maksimum lan minimum wafer. Parameter iki minangka indeks penting sing digunakake kanggo ngukur keseragaman kekandelan wafer. Ing proses semikonduktor, kekandelan wafer kudu seragam banget ing kabeh permukaan. Pangukuran biasane digawe ing limang lokasi ing wafer lan bedane diitung. Pungkasane, nilai iki minangka dhasar penting kanggo ngadili kualitas wafer.
Gandhewa
Busur ing manufaktur semikonduktor nuduhake lengkungan wafer, sing mbebasake jarak antarane titik tengah wafer sing ora dijepit lan bidang referensi. Tembung iki mbokmenawa asale saka katrangan babagan wujud obyek nalika dibengkokake, kaya wujud lengkungan busur. Nilai Busur ditetepake kanthi ngukur deviasi antarane tengah lan pinggir wafer silikon. Nilai iki biasane dinyatakake ing mikrometer (µm).
Warp
Warp iku sipat global wafer sing ngukur bedane antarane jarak maksimum lan minimum antarane tengah wafer sing ora dijepit kanthi bebas lan bidang referensi. Makili jarak saka permukaan wafer silikon menyang bidang.
Apa bedane TTV, Bow, lan Warp?
TTV fokus ing owah-owahan kekandelan lan ora peduli karo lentur utawa distorsi wafer.
Gandhewane fokus ing lengkungan sakabèhé, utamane nggatekake lengkungan titik tengah lan pinggiré.
Lungsi luwih komprehensif, kalebu mlengkung lan muter kabeh permukaan wafer.
Senajan telung parameter iki ana hubungane karo bentuk lan sifat geometris wafer silikon, nanging diukur lan diterangake kanthi beda, lan pengaruhe marang proses semikonduktor lan pangolahan wafer uga beda.
Saya cilik telung parameter kasebut, saya apik, lan saya gedhe parameter kasebut, saya gedhe dampak negatif tumrap proses semikonduktor. Mulane, minangka praktisi semikonduktor, kita kudu ngerti pentinge parameter profil wafer kanggo kabeh proses proses, nalika nindakake proses semikonduktor, kudu nggatekake rinciane.
（penyensoran）
Wektu kiriman: 24 Juni 2024