Substrat silikon karbida dipérang dadi jinis semi-insulating lan jinis konduktif. Saiki, spesifikasi utama produk substrat silikon karbida semi-terisolasi yaiku 4 inci. Ing pasar karbida silikon konduktif, spesifikasi produk substrat utama saiki yaiku 6 inci.
Amarga aplikasi hilir ing lapangan RF, substrat SiC semi-terisolasi lan bahan epitaxial tundhuk kontrol ekspor dening Departemen Perdagangan AS. SiC semi-terisolasi minangka substrat minangka bahan sing disenengi kanggo heteroepitaxy GaN lan nduweni prospek aplikasi penting ing lapangan gelombang mikro. Dibandhingake karo mismatch kristal saka sapir 14% lan Si 16,9%, mismatch kristal bahan SiC lan GaN mung 3,4%. Digabungake karo konduktivitas termal ultra-dhuwur SiC, LED efisiensi energi dhuwur lan frekuensi dhuwur GaN lan piranti gelombang mikro daya dhuwur sing disiapake nduweni kaluwihan gedhe ing radar, peralatan gelombang mikro daya dhuwur lan sistem komunikasi 5G.
Riset lan pangembangan substrat SiC semi-terisolasi mesthi dadi fokus riset lan pangembangan substrat kristal tunggal SiC. Ana rong kesulitan utama kanggo ngembangake bahan SiC semi-terisolasi:
1) Ngurangi N donor impurities ngenalaken dening grafit crucible, termal jampel adsorption lan doping ing wêdakakêna;
2) Nalika njamin kualitas lan sifat listrik saka kristal, pusat tingkat jero dienalake kanggo ngimbangi impurities tingkat cethek residual kanthi aktivitas listrik.
Saiki, manufaktur kanthi kapasitas produksi SiC semi-terisolasi utamane SICC Co, Semisic Crystal Co, Tanke Blue Co, Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.
Kristal SiC konduktif digayuh kanthi nyuntikake nitrogen menyang atmosfer sing tuwuh. Substrat karbida silikon konduktif utamane digunakake ing pabrik piranti listrik, piranti listrik karbida silikon kanthi voltase dhuwur, arus dhuwur, suhu dhuwur, frekuensi dhuwur, mundhut kurang lan kaluwihan unik liyane, bakal ningkatake panggunaan energi piranti listrik adhedhasar silikon. efisiensi konversi, wis impact pinunjul lan adoh ing lapangan konversi energi efisien. Wilayah aplikasi utama yaiku kendaraan listrik / tumpukan ngisi daya, energi anyar fotovoltaik, transit rel, kothak cerdas lan liya-liyane. Amarga hilir produk konduktif utamane piranti listrik ing kendaraan listrik, fotovoltaik lan lapangan liyane, prospek aplikasi luwih akeh, lan manufaktur luwih akeh.
Jinis kristal silikon karbida: Struktur khas karbida silikon kristal 4H paling apik bisa dipérang dadi rong kategori, siji yaiku kubik silikon karbida kristal jinis struktur sphalerite, dikenal minangka 3C-SiC utawa β-SiC, lan liyane yaiku heksagonal. utawa struktur berlian saka struktur periode gedhe, sing khas saka 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC, lan liya-liyane, kanthi kolektif dikenal minangka α-SiC. 3C-SiC nduweni kaluwihan saka resistivity dhuwur ing piranti manufaktur. Nanging, mismatch dhuwur antarane konstanta kisi Si lan SiC lan koefisien ekspansi termal bisa nyebabake akeh cacat ing lapisan epitaxial 3C-SiC. 4H-SiC duweni potensi gedhe ing manufaktur MOSFET, amarga pertumbuhan kristal lan proses pertumbuhan lapisan epitaxial luwih apik, lan babagan mobilitas elektron, 4H-SiC luwih dhuwur tinimbang 3C-SiC lan 6H-SiC, nyedhiyakake karakteristik gelombang mikro sing luwih apik kanggo 4H. - MOSFET SiC.
Yen ana pelanggaran, kontak mbusak
Posting wektu: Jul-16-2024