Apa ana uga beda ing aplikasi wafer sapir karo orientasi kristal beda?

Sapphire minangka kristal tunggal alumina, kalebu sistem kristal tripartit, struktur heksagonal, struktur kristal kasebut dumadi saka telung atom oksigen lan loro atom aluminium ing jinis ikatan kovalen, disusun kanthi rapet, kanthi rantai ikatan sing kuat lan energi kisi, nalika sawijining interior kristal meh ora impurities utawa cacat, supaya wis jampel electrical banget, transparan, konduktivitas termal apik lan karakteristik rigidity dhuwur. Digunakake minangka jendhela optik lan bahan substrat kinerja dhuwur. Nanging, struktur molekul sapir rumit lan ana anisotropi, lan impact ing sifat fisik sing cocog uga beda banget kanggo pangolahan lan nggunakake arah kristal sing beda-beda, mula panggunaan uga beda. Umumé, substrat sapir kasedhiya ing arah bidang C, R, A lan M.

p4

p5

Aplikasi sakawafer safir C-bidang

Gallium nitride (GaN) minangka semikonduktor generasi katelu sing amba, nduweni celah pita langsung sing amba, ikatan atom sing kuat, konduktivitas termal sing dhuwur, stabilitas kimia sing apik (meh ora karat dening asam apa wae) lan kemampuan anti-iradiasi sing kuwat, lan nduweni prospek sing wiyar ing aplikasi optoelektronik, suhu dhuwur lan piranti daya lan piranti gelombang mikro frekuensi dhuwur. Nanging, amarga titik leleh GaN sing dhuwur, angel entuk bahan kristal tunggal ukuran gedhe, mula cara umum yaiku nindakake pertumbuhan heteroepitaksi ing substrat liyane, sing nduweni syarat sing luwih dhuwur kanggo bahan substrat.

Dibandhingake karosubstrat safirkaro pasuryan kristal liyane, kisi tingkat mismatch konstan antarane C-bidang (<0001> orientasi) wafer sapir lan film setor ing kelompok Ⅲ-Ⅴ lan Ⅱ-Ⅵ (kayata GaN) punika relatif cilik, lan kisi pancet mismatch rate antarane loro lan ingfilm AlNsing bisa digunakake minangka lapisan buffer malah luwih cilik, lan meets syarat resistance suhu dhuwur ing proses crystallization GaN. Mulane, iku materi landasan umum kanggo wutah GaN, kang bisa digunakake kanggo nggawe led putih / biru / ijo, laser diodes, detektor infrared lan ing.

p2 p3

Wigati dicathet yen film GaN sing ditanam ing substrat sapir C-pesawat tuwuh ing sadawane sumbu kutub, yaiku, arah sumbu C, sing ora mung proses pertumbuhan lan proses epitaksi sing diwasa, biaya sing relatif murah, fisik sing stabil. lan sifat kimia, nanging uga kinerja pangolahan sing luwih apik. Atom-atom wafer sapir berorientasi C diikat ing susunan O-al-al-o-al-O, dene kristal sapir sing berorientasi M lan A-oriented diikat ing al-O-al-O. Amarga Al-Al nduweni energi ikatan sing luwih murah lan ikatan sing luwih lemah tinimbang Al-O, dibandhingake karo kristal sapir berorientasi M lan A-oriented, Pengolahan C-sapphire utamane kanggo mbukak kunci Al-Al, sing luwih gampang diproses. , lan bisa entuk kualitas permukaan sing luwih dhuwur, banjur entuk kualitas epitaxial gallium nitride sing luwih apik, sing bisa ningkatake kualitas LED putih / biru sing padhang ultra-dhuwur. Ing sisih liya, film sing ditanam ing sadawane sumbu C duwe efek polarisasi spontan lan piezoelektrik, sing nyebabake medan listrik internal sing kuat ing jero film (Sumur kuantum lapisan aktif), sing nyuda efisiensi cahya film GaN.

wafer safir pesawat Aaplikasi

Amarga kinerja lengkap sing apik banget, utamane transmisi sing apik, kristal tunggal sapir bisa ningkatake efek penetrasi inframerah, lan dadi bahan jendela inframerah mid-infrared sing becik, sing wis akeh digunakake ing peralatan fotoelektrik militer. Where A safir iku bidang polar (bidang C) ing arah normal saka pasuryan, iku lumahing non-polar. Umumé, kualitas kristal sapir A-oriented luwih apik tinimbang kristal C-oriented, kanthi dislokasi kurang, struktur Mosaic kurang lan struktur kristal sing luwih lengkap, saengga nduweni kinerja transmisi cahya sing luwih apik. Ing wektu sing padha, amarga mode ikatan atom Al-O-Al-O ing bidang a, atose lan nyandhang resistance saka sapir A-oriented Ngartekno luwih dhuwur tinimbang sing saka sapir C-oriented. Mulane, Kripik A-arah biasane digunakake minangka bahan jendhela; Kajaba iku, A sapir uga nduweni konstanta dielektrik seragam lan sifat insulasi dhuwur, saengga bisa ditrapake kanggo teknologi mikroelektronik hibrida, nanging uga kanggo tuwuh konduktor sing paling apik, kayata nggunakake TlBaCaCuO (TbBaCaCuO), Tl-2212, wutah. film superkonduktor epitaxial heterogen ing substrat komposit safir cerium oxide (CeO2). Nanging, uga amarga energi ikatan gedhe saka Al-O, luwih angel diproses.

p2

Aplikasi sakaR / M bidang wafer safir

Bidang-R minangka permukaan non-polar saka sapir, saéngga owah-owahan ing posisi bidang-R ing piranti sapir menehi sifat mekanik, termal, listrik, lan optik sing beda. Umumé, substrat sapir R-lumahing luwih disenengi kanggo deposisi heteroepitaxial saka silikon, utamane kanggo aplikasi sirkuit terpadu semikonduktor, gelombang mikro lan mikroelektronik, ing produksi timbal, komponen superkonduktor liyane, resistor tahan dhuwur, gallium arsenide uga bisa digunakake kanggo R- jinis wutah substrat. Saiki, kanthi popularitas telpon pinter lan sistem komputer tablet, substrat sapir R-pasuryan wis ngganti piranti SAW senyawa sing ana digunakake kanggo telpon pinter lan komputer tablet, nyedhiyakake landasan kanggo piranti sing bisa ningkatake kinerja.

p1

Yen ana pelanggaran, kontak mbusak


Posting wektu: Jul-16-2024