Chuck Keramik Silikon Karbida kanggo Wafer SiC safir Si GAAs

Chuck Keramik Silikon Karbida kanggo Wafer SiC safir Si GAA Gambar Unggulan

Katrangan Cekak:

Chuck Keramik Silicon Carbide minangka platform kinerja dhuwur sing dirancang kanggo inspeksi semikonduktor, fabrikasi wafer, lan aplikasi ikatan. Dibangun nganggo bahan keramik canggih—kalebu SiC sintered (SSiC), SiC ikatan reaksi (RSiC), silikon nitrida, lan aluminium nitrida—platform iki nawakake kekakuan sing dhuwur, ekspansi termal sing sithik, tahan aus sing apik banget, lan umur layanan sing dawa.

Kirim email menyang kita

Fitur-fitur

Diagram Rinci

Ringkesan Chuck Keramik Silikon Karbida (SiC)

IngChuck Keramik Silikon Karbidaminangka platform kinerja dhuwur sing dirancang kanggo inspeksi semikonduktor, fabrikasi wafer, lan aplikasi ikatan. Dibangun nganggo bahan keramik canggih—kalebuSiC sing disinter (SSiC), SiC sing kaiket reaksi (RSiC), silikon nitrida, lanaluminium nitrida—nawakakekekakuan dhuwur, ekspansi termal kurang, tahan aus sing apik banget, lan umur layanan dawa.

Kanthi teknik presisi lan polesan canggih, chuck iki ngasilakekerataan sub-mikron, permukaan kualitas pangilon, lan stabilitas dimensi jangka panjang, dadi solusi sing ideal kanggo proses semikonduktor sing penting.

Kauntungan Utama

Presisi Tinggi
Kerataan dikontrol ing njero0,3–0,5 µm, njamin stabilitas wafer lan akurasi proses sing konsisten.
Poles Pangilon
NgraihRa 0,02 μmkekasaran permukaan, nyuda goresan lan kontaminasi wafer—cocok kanggo lingkungan sing ultra-bersih.
Ultra-Enteng
Luwih kuwat nanging luwih entheng tinimbang substrat kuarsa utawa logam, ningkatake kontrol gerakan, responsif, lan akurasi posisi.
Kekakuan Dhuwur
Modulus Young sing luar biasa njamin stabilitas dimensi ing beban abot lan operasi kecepatan tinggi.
Ekspansi Termal Rendah
CTE cocog banget karo wafer silikon, ngurangi stres termal lan ningkatake keandalan proses.
Ketahanan Aus sing Luar Biasa
Kekerasan sing ekstrem njaga kerataan lan presisi sanajan digunakake kanthi frekuensi dhuwur sajrone wektu sing suwe.

Proses Manufaktur

Persiapan Bahan Baku
Bubuk SiC kanthi kemurnian dhuwur kanthi ukuran partikel sing dikontrol lan pengotor sing ultra-rendah.
Mbentuk & Sintering
Teknik-teknik kaya tasintering tanpa tekanan (SSiC) or ikatan reaksi (RSiC)ngasilake substrat keramik sing padhet lan seragam.
Mesin Presisi
Grinding CNC, trimming laser, lan mesin ultra-presisi entuk toleransi ±0,01 mm lan paralelisme ≤3 μm.
Perawatan Permukaan
Grinding lan polesan multi-tahap nganti Ra 0,02 μm; lapisan opsional kasedhiya kanggo tahan korosi utawa sifat gesekan sing disesuaikan.
Inspeksi & Kontrol Kualitas
Interferometer lan alat penguji kekasaran verifikasi kepatuhan karo spesifikasi kelas semikonduktor.

Spesifikasi Teknis

Parameter	Nilai	Unit
Kerataan	≤0.5	μm
Ukuran wafer	6'', 8'', 12'' (bisa dipesen khusus)	—
Jinis lumahing	Jinis pin / Jinis cincin	—
Dhuwure pin	0,05–0,2	mm
Diameter pin minimal	ϕ0.2	mm
Jarak pin minimal	3	mm
Ambane cincin segel minimal	0.7	mm
Kekasaran permukaan	Ra 0.02	μm
Toleransi kekandelan	±0.01	mm
Toleransi diameter	±0.01	mm
Toleransi paralelisme	≤3	μm

Aplikasi Utama

Piranti inspeksi wafer semikonduktor
Sistem fabrikasi lan transfer wafer
Piranti kanggo ngiket lan ngemas wafer
Manufaktur piranti optoelektronik canggih
Instrumen presisi sing mbutuhake permukaan sing rata banget lan resik banget

Tanya Jawab – Chuck Keramik Silikon Karbida

P1: Kepriye chuck keramik SiC dibandhingake karo chuck kuarsa utawa logam?
A1: Chuck SiC luwih entheng, luwih kaku, lan nduweni CTE sing cedhak karo wafer silikon, saengga nyuda deformasi termal. Chuck iki uga nawakake ketahanan aus sing unggul lan umur sing luwih dawa.

P2: Kerataan apa sing bisa digayuh?
A2: Dikendalikake ing njero0,3–0,5 µm, nyukupi panjaluk produksi semikonduktor sing ketat.

P3: Apa permukaan wafer bakal ngeruk?
A3: Ora—dipoles nganggo pangilonRa 0,02 μm, njamin penanganan tanpa goresan lan nyuda generasi partikel.

P4: Ukuran wafer apa sing didhukung?
A4: Ukuran standar saka6'', 8'', lan 12'', kanthi pangaturan sing kasedhiya.

Q5: Kepriye resistensi termal?
A5: Keramik SiC nyedhiyakake kinerja suhu dhuwur sing apik banget kanthi deformasi minimal ing siklus termal.

Babagan Kita

XKH spesialisasi ing pangembangan teknologi tinggi, produksi, lan dodolan kaca optik khusus lan bahan kristal anyar. Produk kita nyedhiyakake elektronik optik, elektronik konsumen, lan militer. Kita nawakake komponen optik Safir, tutup lensa ponsel, Keramik, LT, Silicon Carbide SIC, Kuarsa, lan wafer kristal semikonduktor. Kanthi keahlian sing trampil lan peralatan canggih, kita unggul ing pangolahan produk non-standar, kanthi tujuan dadi perusahaan teknologi tinggi bahan optoelektronik sing unggul.